中古品 VARIOUS (イオン注入装置＆モニター) を販売中

イオン注入は、半導体業界で広く使用されているプロセスであり、シリコンウェーハに不純物を導入して電気的特性を変更します。イオンインプラントは、電磁界を利用してイオンを加速してウェーハ表面に向ける高度な機械です。それらは注入の線量、エネルギー、角度および深さを精密に制御し、高精度で反復可能な結果をもたらします。様々なメーカーが異なる仕様と機能を持つイオンインプラントを製造しています。例えば、アプライドマテリアルズ、Axcelis Technologies、 Varian Semiconductor Equipment Associatesなどがある。これらのメーカーは、さまざまな顧客の要求に対応するために、幅広いアナログとモデルを提供しています。イオンインプラントの利点は、設計や機能によって異なります。一般的な利点には、高スループット、優れたビーム品質、柔軟なパラメーター制御、高度な監視装置などがあります。モニタリングシステムは、プロセスの安定性と品質管理を確保するため、イオンインプラントの不可欠なコンポーネントです。プラズマモニタ、ビーム電流モニタ、ウェーハ温度モニタなどがあります。モニタリングシステムの一例は、Varian Semiconductor Equipment Associatesが開発したLot of Implanters （LOI）です。LOIはビーム強度と角度を監視し、任意の不一致を検出し、ビームを自動的に補正して校正します。もう1つの例は、アプライドマテリアルズが開発したLot of Ion Implanters （LOI2）で、インプラントの完全性と品質を向上させるためにインプラントのプロセスを監視および最適化することに焦点を当てています。全体として、イオン注入装置とその監視装置は、精密な制御を提供し、イオン注入プロセスの精度と効率を確保することにより、半導体製造において重要な役割を果たします。