中古 HITACHI IP825A #293630417 を販売中

HITACHI IP825Aは、マイクロエレクトロニクスデバイス製造プロセスにおける効率的で高精度なイオン注入と監視のために設計されています。機器コンボセットは、イオンインプランターと放射線監視の2つのモジュールで構成されています。マイクロエレクトロニクスデバイスの最高性能のイオン注入と監視を提供することで、信頼性の高いIP825Aは、既存システムと比較して非常に高いダイナミックレンジで高精度の注入に到達することができます。これは、1：500の印象的な解像度と最大120°/秒のスキャン速度を備えています。これにより、より効率的な着床プロセスとより良い歩留まりの提供が可能になります。イオンインプランターモジュールは、Ar+、Xe+、Ni+、O+、B+、N+粒子の埋め込み、イオンエッチングなど、さまざまなプロセスを容易にします。また、充電補償システムを内蔵しており、着床時の荷電粒子を低減します。一方、放射線モニターモジュールは、着床条件を継続的に監視し、品質性能を確保することにより、高精度な環境を維持するのに役立ちます。最大12mmのスキャンウィンドウサイズを備えており、粒子ビームパラメータをより正確に測定できます。また、ユニットマップを使用してビーム角、ビームスポットサイズなどを分析および監視し、プロセスの効率を大幅に向上させます。さらに、マシンは1つの柔軟なプログラムで両方の機器を制御します。これにより、注入ツールのパラメータを簡単に操作しながら、監視されたデータをリアルタイムで分析することができます。資産はまた、データを保存し、体系的にそれを呼び出すことができます。このモデルは、インプラントの制御と監視を簡素化する直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を備えています。4。3インチの色LCDのパネルは速く、容易な観覧のために設計されています。また、長期的な信頼性のために設計されており、90日間のスタンバイサイクルを誇っています。HITACHI IP825Aコンボセットは、幅広いマイクロエレクトロニクスデバイス製造プロセスに適しています。高度な機能とユーザーフレンドリーな操作により、効果的なモニタリングとインプラント操作が可能です。これにより、品質の結果とスループットの向上が保証されます。