中古 HITACHI / AET IP825A #293634094 を販売中

HITACHI/AET IP825Aイオン注入器とモニターは、高度で高度なイオン注入装置です。このシングルウェーハインプラントは、1時間あたり最大825mm³の材料を処理することができ、最大効率のために16 ″のウェーハチェンジャーを備えています。AET IP825Aは、最大1000µA/cm²の高ビーム電流速度、BからUまでの幅広いイオン種、および50keVまでのイオンエネルギーを特徴としています。さらに、ビーム電流の精度と均一性は± 5％です。HITACHI IP825Aは、高精度かつ高精度なハイエンド材料の埋め込みを可能にするコンピュータ制御スキャンシステムを採用しています。コンピュータ化されたプロセスは、各顧客の特定のニーズに合わせて調整することができます。さらに、半導体、医療、フラットパネルディスプレイ、その他の先進分野など、さまざまな産業に適した信頼性と再現性の高い結果を提供します。IP825Aは、モノクロガンを使用して構築されており、最小またはゼロの汚染でスムーズで一貫したビーム配信を支援します。ビーム電流、サイクルタイム、インプラント角度など、さまざまなプロセスパラメータを設定および調整できます。このインプランターは、高度なウェーハの積み下ろし機構も備えており、使いやすく、安全で効率的な操作を提供します。また、HITACHI/AET IP825Aには高度なモニタとデータ収集制御システム（DACS）が搭載されており、お客様はインプラント操作をリアルタイムで追跡し、プロセスパラメータを効果的に管理することができます。モニターとDACSはまた、予防メンテナンス計画のための診断の広い範囲を提供します。AET IP825Aは、注入要件に信頼性の高い効果的なソリューションを必要とするお客様に最適です。高性能、再現性、クリーンで制御可能なビームと高度な監視および制御システムの組み合わせにより、この機器は優れた投資となります。