中古品 HITACHI / AET (イオン注入装置&モニター) を販売中
HITACHI/AETが製造するイオンインプラントおよびモニターは、半導体業界でドーピングプロセスに使用される高度で効率的なツールです。イオン注入は、シリコンウェーハに必要な不純物を導入して電気的特性を変化させるため、半導体製造の重要なステップです。HITACHI/AETは、精度、信頼性、柔軟性で知られているさまざまなイオンインプラントを提供しています。これらのイオンインプラントは、さまざまな種類のイオンを処理し、さまざまなドーピング要件に対応するように設計されています。高度な制御システムと正確なビームスキャン機能を備えており、ウェーハ全体の正確で均一なドーピングを保証します。HITACHI/AETが提供するモニターは、イオンインプラントと連動して動作するように設計されています。これらのモニターは継続的にイオンビームを監視し、品質と効率を保証します。イオンビーム電流、エネルギー、用量に関するリアルタイムデータを提供し、オペレータが最適な性能を得るために必要な調整を行うことができます。HITACHI/AETのイオンインプランターの例の1つは、IP825Aです。多種多様なイオンやエネルギーに対応できる高性能インプラントです。優れたビーム安定性、ビーム電流制御、および線量精度を提供します。トランジスタ製造、メモリデバイス、パワーデバイスなど、半導体業界で広く使用されています。要するに、HITACHI/AETイオンインプラントとモニタは、半導体製造において正確かつ効率的なドーピングプロセスを提供する高度なツールです。精度、信頼性、柔軟性により、世界中の半導体メーカーに好まれています。
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