中古 EATON NOVA / AXCELIS Purion H2 #9292991 を販売中

EATON NOVA/AXCELIS Purion H2は、多種多様なイオン注入ニーズに対応できるように設計されたイオンインプラントおよびモニターです。AXCELIS Purion H2は、最適化されたビーム均一性、精度、優れた汚染保護を提供し、複数のインプラントを最高レベルの再現性で実現します。最大入力ビーム電流は1。4mAで、高出力電圧を実現することができ、多種多様な用途での重いドーピングに適しています。EATON NOVA Purion H2は完全に自動化されており、ユーザーは注入プロセス全体で必要に応じて調整できるビームパラメータをプログラムして監視することができます。自動化された機能には、ビーム強度制御、ビーム電極電圧の調整、放射電流の選択などがあります。Purion H2は、ホウ素、炭素、酸素、窒素、高貴なガスなど、幅広い原料を受け入れることができます。また、プロセス制御エレクトロニクスを収容するコンソールと、移植プロセスの監視を可能にするユーザーインターフェイスが装備されています。ユーザーインターフェイスは簡単で直感的に設計されており、ユーザーはパラメータを正確かつ簡単に調整できます。さらに、EATON NOVA/AXCELIS Purion H2は、スプラッシュゾーンと保護カバーを含む統合された安全システムを備えています。システム全体が最先端の真空密閉チャンバーの周りに構築されており、利用可能な最高の着床率が達成されます。AXCELIS Purion H2は、複数の同時イオン注入を実行するようにプログラムすることもでき、その汎用性を高めます。さらに、統合されたソフトウェアパッケージがパッケージに含まれており、プロセスの最適化を可能にするためにデータを分析および監視するように設計されています。結論として、EATON NOVA Purion H2は、最適化されたビーム均一性、精度、汚染防止、高出力電圧など、幅広い機能を提供するイオンインプラントおよびモニターです。これにより、Purion H2はさまざまなイオン注入ニーズに対応し、高い反復性、信頼性、汎用性の高いシステムを提供します。