中古品 EATON NOVA / AXCELIS (イオン注入装置＆モニター) を販売中
イオン注入は、シリコンウェーハに不純物を導入して電気的特性を変更するために使用される半導体産業の重要なプロセスです。EATON NOVA/AXCELISは、高度なイオンインプラントとモニターで知られる評判の良いメーカーです。NV GSD-HE、 NV 10-160、 NV 10-80などのイオンインプラントは、ウェーハへのイオンの正確かつ制御された埋め込みを提供するように設計されています。これらのシステムは、高スループット、改善されたプロセス制御、優れた均一性など、多くの利点を提供します。ロジック、メモリ、パワーデバイスなど、幅広いアプリケーションに適しています。NV GSD-HEはハイブリッドインプラントのアナログであり、エネルギー性能を向上させ、柔軟性と生産性を向上させます。NV 10-160は、超低エネルギー能力と優れた線量制御を提供する、困難なデバイスの着床を容易にするように設計されています。一方、NV 10-80は、高用量性能と優れた均一性を提供する高エネルギーインプラントです。EATON NOVA/AXCELISインプラントには高度なモニタリングシステムが装備されており、インプラントのプロセス中に正確な制御とリアルタイムのフィードバックを保証します。これらのモニタは、ビーム電流、線量、エネルギー、およびその他の関連パラメータを正確に測定し、正確なプロセス制御と最適化を可能にします。全体として、EATON NOVA/AXCELISイオンインプラントおよびモニタは、高性能、汎用性、信頼性で有名であり、半導体業界で好ましい選択肢となっています。
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