中古 EATON NOVA / AXCELIS PCB Board for GSD #293647251 を販売中

EATON NOVA/AXCELIS PCB Board for GSDは、半導体製造およびプロセス制御に使用するために設計された多機能イオンインプラントおよびモニタです。プロセス中のドーパント、イオン、材料の埋め込みを制御することができます。イオンの速度と分布を制御することで、正確かつ再現性の高い処理を実現します。PCBボードには、メインコントローラボード、イメージャボード、配電ボードなど、さまざまなボードが含まれています。メインコントローラボードはGSDチップを内蔵し、ユーザーと機器の間のインターフェースを提供します。Digital Signal Processor （DSP）や32bitマイクロコントローラなどの専用コンポーネントで構成されています。イメージャーボードには、埋め込み電荷の分布と形状を可視化するために使用されるCMOSセンサーの範囲があります。パワーボードには、アナログとデジタルのパワーコンポーネントが組み合わされています。AXCELIS PCB Board for GSDは、複数の移植プロセスを同時に制御するために使用できます。最大80の独立したゾーンをサポートしており、個々にインプラントのエネルギーと投与量を設定できます。システムのオープンアーキテクチャにより、エミッター、ウェーハ、マスクなどの追加の周辺機器を統合することができます。また、ユーザーが既存のプロセスを簡単に管理し、カスタムレシピを作成することができます組み込みのレシピエディタがあります。ボードには高度な制御機能と移植プロセスのための統合監視ユニットがあります。このモニタリングマシンは、プロセスに関するリアルタイムのフィードバックを可能にし、診断情報を提供して迅速なトラブルシューティングと最適化を容易にします。GSDは、最新のイオンインプラントと関連ツールに対応できる強力で柔軟なプラットフォームを提供します。GSD用EATON NOVA PCBボードは、既存のシステムに迅速かつシームレスに統合することができるモジュール式でコンパクトな設計で、簡単なインストールと操作のために設計されています。堅牢な設計、品質コンポーネント、直感的なユーザーインターフェースにより、ボードはイオン注入とプロセス制御に理想的なソリューションを提供します。