中古 EATON NOVA / AXCELIS Paradigm #9235773 を販売中

EATON NOVA/AXCELIS Paradigmは、堅牢で信頼性の高いイオン注入器であり、イオン注入と精密イオン爆撃を強化するために設計されたモニターです。高効率で信頼性の高い中型エネルギー（30-60keV）イオン注入装置と包括的なモニタリングシステムを組み合わせています。不要なビーム汚染を排除し、副生物室の汚染を最小限に抑え、ビームの動きを最適化するように設計されています。AXCELIS Paradigmは、ユニークな円筒形インプラントチャンバーを備えています。このシリンドリカルチャンバーは、軸外不純物レベルを低減し、ビーム強度の均一性を高め、試験片の表面処理を改善しました。これにより、高効率で正確なイオン爆撃が可能になります。EATON NOVAパラダイムユニットはまた、信頼性が高く安定した高電圧電源を提供します。円対称レンズを備えたイオン源が含まれており、均一な注入と最小限のビーム汚染を提供します。エッチングされた抽出グリッドは、ビームがきれいであることを保証し、磁気フィルターはさらにビーム精製を提供します。高度な高度なモニタリングマシンは、統合されたフロントエンドコンピュータインターフェイスを使用して、ツールのパフォーマンスを監視するために実行パラメータを表示します。これにより、アセットが正しく制御および動作するように、インプラント条件を調整できます。パラダイムはまた、ガスボックス構造とスマート真空機能を利用して、イオン爆撃室の汚染を最小限に抑えます。真空モデルは、異なる材料の最適な部分圧力に調整することができ、正確なビームエネルギーを達成するために不可欠です。EATON NOVA/AXCELIS Paradigmは、高度で信頼性の高いイオンインプラントおよびモニタリング装置であり、汚染を最小限に抑えた均一なインプラントを提供します。シリンドリカルチャンバー設計により、正確なビーム位置決めと反復可能な結果が保証され、洗練された監視装置により、すべての実行パラメータをリアルタイムで監視および制御できます。AXCELIS Paradigmは中型エネルギーイオン注入に最適で、超薄膜の精密蒸着において優れた性能を発揮します。