中古 EATON NOVA / AXCELIS Paradigm #9029819 を販売中

EATON NOVA / AXCELIS Paradigm
ID: 9029819
ウェーハサイズ: 12"
Implanter, 12" Currently installed.
EATON NOVA/AXCELIS Paradigmは、先端技術の半導体製造設備のために設計されたイオンインプラントおよびモニターです。これは、今日市場で入手可能な最も先進的で信頼性の高いインプラントの1つであり、設計者にインプラント工程を比類のない制御を提供します。AXCELIS Paradigmは、従来のダイレクトビームと革新的な間接ビームを組み合わせた、正確で正確なインプラントを可能にするデュアルビームインプラントです。ダイレクトビームは、実績のある信頼性の高いプラットフォームに基づいており、着床エネルギーを優れた制御を提供します。ホウ素、炭素、ガリウム、リン、シリコンなど、幅広いイオンを供給することができます。間接ビームは、1ミクロンの範囲で精度を提供し、3Dデバイス内の層の高精度なアライメントと埋め込みを可能にします。両ビームは、冗長レベルの保護、ヒューマンマシンインターフェース、直感的な操作、自動安全テストなどの高度な安全機能を備えています。さらに、EATON NOVA Paradigmは、移植プロセス中に移植された層を制御するための業界をリードするモニターを備えています。モニターは、リアルタイムで着床プロセスの任意の潜在的な偏差にオペレータを認識し、警告することができます。また、プロセス中に排出される可能性のある有害物質を認識し、リスクが発生する前にそれを停止することもできます。全体として、Paradigmは、技術に精通したアプリケーションに高度なイオンインプラントを必要とする人に最適です。これは、埋め込みプロセスの比類のない制御、完全な安全機能、および3Dデバイス内の層の信頼性の高い正確な埋め込みを提供します。
まだレビューはありません