中古 EATON NOVA / AXCELIS Paradigm XE #9282115 を販売中

EATON NOVA/AXCELIS Paradigm XEはイオン注入用に設計されたウェーハ処理装置です。このシステムは、半導体製造のための複雑で先進的な材料を処理することができます。伝統的なイオン注入と自己調整技術を組み合わせ、堅牢なパフォーマンスを実現します。AXCELIS Paradigm XEユニットは、ハイエンドモニターにより、最初のウェーハから最後のウェーハまでの全精度と制御を提供します。EATON NOVA Paradigm XEは、高出力ビーム源を利用して、最大15kWの最大線量率を実現します。このソースはまた、ウェーハ領域全体にわたって優れた線量均一性と均質性を提供し、優れた線量範囲を可能にします。この資産には、線量率の正確な制御とカスタマイズのための大規模な2段ロータリーバルブが装備されています。さらに、Paradigm XEのビームラインは、処理速度を最大化し、ビームエネルギーの拡散を制御し、幅広いビーム技術に対応するように設計されています。EATON NOVA/AXCELIS Paradigm XEの統合監視モデルは、ユーザーに優れた視認性と精度を提供します。優れた精度のフィードバック制御装置と完全に自動化されたガス監視システムを提供し、リアルタイムのフィードバックを提供し、正確なガスレベルを維持します。また、プログラマブルコントローラを使用して、さまざまなアプリケーションや材料に素早くユニットをセットアップできます。コントローラーはまた、正しい条件とレシピパラメータが必要な結果を達成するために満たされていることを確認するために使用されます。最後に、AXCELIS Paradigm XEは、緊急時の完全な安全遮断機など、最高の安全機能を提供します。同様に、ツールの故障やその他の異常が発生した場合に効果的にユーザーに警告するために、デュアルステージアラームが装備されています。結論として、EATON NOVA Paradigm XEは、半導体産業のために設計された強力なイオン注入および監視資産です。その例外線量率と制御、統合された監視モデルと安全機能により、Paradigm XEは最高レベルのパフォーマンスを提供し、可能な限り最高の結果を出すことができます。