中古 EATON NOVA / AXCELIS Paradigm XE #9222810 を販売中

EATON NOVA/AXCELIS Paradigm XEは、高度なイオン注入装置および監視装置です。最先端のイオン注入技術を提供するように設計されており、先進的な半導体デバイスの製造と製造に使用されています。AXCELIS Paradigm XEは、高度なハードウェアおよびソフトウェア機能を統合して、最高レベルのプロセス制御を実現し、正確かつ再現可能なインプラント用量を正確に提供します。このシステムは、高圧電源、イオンインプランター、イオンビームモニターの3つの主要モジュールで構成されています。高電圧電源（HVPS）はEATON NOVA Paradigm XEユニットの中核であり、ビーム中のイオンを加速するために必要な電力を生成する責任があります。インプランターは、これらの電源から供給された電力を使用して、サンプルにイオンのビームを作成して供給し、基板に埋め込む。最後に、イオンビームモニターを使用して、インプラント中のビームパラメータを監視し、プロセスが信頼性と再現性を確保します。Paradigm XEマシンは、制御とパラメータ設定の広い範囲が装備されています。これらの設定により、ユーザーは必要なデバイス製造仕様に合わせてイオン注入パラメータを調整できます。ビーム電流モニター範囲、安定した圧力制御、単一または複数のアノード選択、ビーム電力制御、ノモグラム選択などの側面を調整して、最適なデバイス製造を実現できます。EATON NOVA/AXCELIS Paradigm XEは、常に安全な動作を確保するための包括的な安全機能も備えています。ツールは障害が発生した場合に自動的にビーム電力を遮断し、統合された安全資産はオペレータと機器を潜在的な害から保護するためにすべての重要なパラメータを監視します。AXCELIS Paradigm XEモデルは、その高度な機能に加えて、使いやすさのために設計されています。すべてのコントロールと設定はコンソール上で明確に表示され、ボタンを押すだけで調整できます。これにより、装置はあらゆる経験レベルのオペレータの使用に適しています。EATON NOVA Paradigm XEは、高度なイオンインプランターおよびモニターシステムです。幅広い制御とパラメータ設定、包括的な安全機能をユーザーに提供します。また、直感的なユーザーインターフェイスを備えているため、あらゆるエクスペリエンスレベルのオペレータに最適です。Paradigm XEは、高度な半導体デバイスの製造と製造に最適です。