中古 EATON NOVA / AXCELIS Optima HDxT #9115399 を販売中

EATON NOVA/AXCELIS Optima HDxTは、高性能で信頼性の高いイオンインプラントおよびモニターです。シリコンウェーハなどの半導体基板にイオンを一貫した再現性のある埋め込みを提供するように設計されています。この装置の高スループットは、多くの技術的に高度なアプリケーションにとって重要な半導体加工機能をサポートします。様々なサイズや材料の基板の加工に優れた柔軟性を提供し、高度なイオン源の設計により、着床プロセスにおける高い再現性と精度を保証します。AXCELIS Optima HDxTはバイポーライオンソース設計を採用しており、As、 P、 Bなど多種多様なイオン種に対応しています。また、低エネルギー注入やハイエネルギーイオン注入（HEII）など、さまざまなエネルギーをサポートしています。パワフルなビーム搬送ユニットを採用し、高精度な埋め込みを実現し、基板の均一性を維持します。EATON NOVA Optima HDxTは高度な温度制御機能も備えています。Optima HDxTは、高度なプロセス制御および診断システムだけでなく、高度な統合分析およびレポート生成機能も備えています。高度なプロセス制御により、ユーザーはイオン注入エネルギー、電流、ビームスポットサイズなど、インプラント工程全体のプロセスパラメータを簡単に監視および管理できます。さらに、このツールは包括的なキャリブレーションと診断ルーチンもサポートしており、比類のないデータ取得と分析機能を可能にします。さらに、EATON NOVA/AXCELIS Optima HDxTには高度な統合監視アセットも含まれており、ユーザーはインプラント工程の各ステップでパラメータを監視および調整できます。このモデルは、正確な埋め込み精度を確保するだけでなく、ユーザーが特定のアプリケーションのニーズに合わせてプロセスを簡単に最適化することができます。最後に、この機器には、プロセスの安全性と信頼性を確保するのに役立つ統合された安全機能の包括的なセットも含まれています。要約すると、AXCELIS Optima HDxTは、高性能で信頼性の高いイオンインプラントおよびモニタです。さまざまなイオン種とエネルギーをサポートし、高度な温度制御およびプロセス制御システムを備え、包括的な一連の統合診断および安全機能を利用しています。EATON NOVA Optima HDxTは、高度なモニターシステムとユーザーフレンドリーなキャリブレーションおよびテストルーチンを通じて、幅広い半導体加工アプリケーションに信頼性の高い埋め込み精度、再現性、および均一性を提供します。