中古 EATON NOVA / AXCELIS Optima HDX #9355276 を販売中

EATON NOVA/AXCELIS Optima HDXは、半導体デバイスの製造に使用されるイオンインプラントおよびモニタです。これは、高速埋め込みと埋め込みプロセスの正確な監視の両方を提供する高度なツールです。この装置には、独自のビームラインとハイエンドのインプラント・ヘッドが組み合わされており、幅広いインプラント特性を提供しています。AXCELIS Optima HDXは、ワット数、パルス、ビームライン調整性を選択して、幅広いイオン種と用量範囲を生成できます。これにより、移植プロセスの制御が強化され、移植パラメータのバリエーションが増大し、より生産的な移植セッションが可能になります。EATON NOVA Optima HDXは、特許取得済みのトライレイヤクローズドループモニターを搭載しており、インプラントが注入セッションを正確に制御するために必要なすべてのフィードバックを提供するように設計されています。モニターは、埋め込まれたウェーハ上のデータを収集することができ、データの正確性を確保しながら、インプランタパラメータの任意の異常を検出するための高度なフィルタが装備されています。Optima HDXには、システムの簡単かつ自動動作を可能にするソフトウェアを含む、マルチステージオートメーションも含まれています。このユニットには、大量のウェーハ用の自動バッチプログラミング、および歩留まり率向上のための統合された統計的プロセス制御が含まれています。さらに、EATON NOVA/AXCELIS Optima HDXマシンには、人員と機器の安全を確保するさまざまな安全機能が含まれています。これには安全インターロックツールが含まれており、すべての安全パラメータが満たされていない限り、注入手順が開始されないようにします。このアセットには、ハードウェアおよびソフトウェアのエラーを検出する自己診断機能と、空気中の粒子汚染を検出および除去する高度な汚染制御モデルも含まれています。AXCELIS Optima HDXは、高度な埋め込み制御、幅広い埋め込み特性、強力な監視機能を備えた強力で信頼性の高い機器で、一貫した信頼性の高い結果を得ることができます。このシステムは、着床歩留まりの改善とコストの削減に役立ち、商用半導体製造に最適です。