中古 EATON NOVA / AXCELIS Optima HDX #9282114 を販売中

EATON NOVA/AXCELIS Optima HDXは、半導体デバイス製造に使用されるイオンインプラントおよびモニタ技術です。イオンをIC構造に埋め込む際に、優れた速度、信頼性、精度を提供するように設計された高電圧ダイレクトドライブイオンインプラントです。AXCELIS Optima HDXは誘電体の層の沈着、源の注入および重いドーピングのような半導体デバイス製作プロセスの重要な処理ステップのために使用されます。EATON NOVA Optima HDXは、イオン源からドープしたイオンをプラズマ加速器に積み込み、イオンを高エネルギーに加速させ、精密な精度で目的の基板に導きます。この基板へのソース転送は、通常、一連のパルスとスイープ磁気レンズによって達成され、材料の特定の層に最適化された狭いビームになります。Optima HDXは、高度な制御アルゴリズムを備えており、ターゲット外の堆積を制限し、移植後のイオンビーム軌道を制御します。これにより、デバイスの製造における精度と再現性が保証されます。EATON NOVA/AXCELIS Optima HDXは、イオンインプラントのプロセスを測定および追跡できる高度な監視システムも提供しています。これらのシステムは、電流センサ、圧力センサ、位置センサなどのさまざまなセンサを使用して、イオンおよび基板層の特性をリアルタイムで測定します。これにより、イオン線量、イオン速度、およびイオンビームサイズが特定のアプリケーションに最適化されます。AXCELIS Optima HDXは、優れた信頼性と精度のためにテストされています。その高度なモニタリングシステムは、イオンビームを正確に制御し、最高レベルの性能を保証するように設計されています。EATON NOVA Optima HDXは、高品質、スループット、歩留まりを提供するために可能な限り最も効率的な方法で動作することができます。すべてにおいて、Optima HDXは高度で洗練されたダイレクトドライブイオンインプラントおよびモニターであり、イオンインプラントのプロセスを正確に制御し、最適な精度、速度、および信頼性を提供するように設計されています。高度で最適化された機能を備えたEATON NOVA/AXCELIS Optima HDXは、半導体デバイス製造の厳しい要件に最適です。