中古 EATON NOVA / AXCELIS Optima HDX #9262048 を販売中

EATON NOVA/AXCELIS Optima HDXは、高エネルギー、高用量イオンインプラントおよびモニターです。これは、異なるエネルギーと用量のイオンを高精度で正確に埋め込むための理想的なソリューションです。AXCELIS Optima HDXは、半導体、MEM （Micro Electro-Mechanical Systems）製造、新素材の埋め込み、基板の金属化など、さまざまな用途に使用できます。EATON NOVA Optima HDXには、イオンインプランター、モニター、制御システム、高解像度デジタルカメラの3つの主要コンポーネントがあります。インプランターは、高電流、高エネルギーイオン注入プロセスを可能にする高度な磁気光学を利用しています。また、大きなダイナミックレンジと高精度を備えており、異なるエネルギーと用量の異なるイオンの埋め込みを可能にします。モニターと制御システムは、さまざまなセンサーとフィードバックループを備えたクローズドループデジタルプラットフォームを備えており、あらゆる埋め込みパラメータを正確に調整および監視することができます。モニターには、移植パラメータを簡単に設定できる高度なユーザーインターフェイスも含まれています。これにより、着床プロセス中の精度が保証されます。Optima HDXには、高解像度のデジタルカメラも含まれています。これは、着床プロセスを監視するために使用されます。カメラは、インプラントのプロセスのより良い制御を可能にする移植プロセスの詳細な画像をオペレータに提供します。EATON NOVA/AXCELIS Optima HDXは、効率的で信頼性の高いイオンインプラントおよびモニターで、一貫した正確なインプラントを保証します。プロセスを正確に制御し、正確に監視できるさまざまな機能を備えています。幅広いインプラント用途に適しており、先進的な半導体やMEM製造に適しています。