中古 EATON NOVA / AXCELIS Optima HD #9353491 を販売中

EATON NOVA/AXCELIS Optima HD Ion Implanter&Monitorは、半導体業界で最も要求の厳しい要件に対応して設計された、高度で信頼性の高いイオンインプラント機です。高精度で優れた歩留まりを実現するハイエンドインプラントを可能にするロボットアシスト装置です。AXCELIS Optima HDは、統合された自動化された圧力および温度管理ユニットを含む真空システムを使用しています。また、高電圧電源と高度なマグネトロン源の設計により、イオン注入精度と性能を向上させます。さらに、統合された電子制御機械は、着床プロセス全体で一貫した線量制御を保証するのに役立ちます。EATON NOVA Optima HDには、高度なビームラインと自動ビーム搬送ツールが装備されています。これにより、移植されたイオンの正確かつ効率的な供給が保証されます。また、デッドゾーンを最小限に抑え、インプラントの均一性を向上させるように設計されています。Optima HDは、移植プロセスのすべてのステップを監視および記録し、オペレータがリアルタイムでデータを表示できるようにします。このツールはまた、オペレータがインプラントのパラメータの制御やインプラント条件の選択など、特定のプロセスを自動化することを可能にします。これにより、ユーザーは生産量を最大化し、各埋め込まれたウェーハから可能な限り最高の収量を確保することができます。EATON NOVA/AXCELIS Optima HDイオン注入器は、最も厳しい業界要件を満たすように設計されており、ハイエンドの注入性能を提供します。q型イオン、高エネルギーイオン、低エネルギーイオンなど、幅広いイオンの埋め込みが可能です。その統合されたレーザー連結資産は最高の安全を保障し、機械はISO 22301およびUSIOC-N10証明されます。AXCELIS Optima HDは、最高水準の品質を満たすように設計および開発されており、高度な半導体アプリケーション向けの高性能インプラント・ソリューションを提供しています。その信頼性の高いイオン源、高度なビームライン、自動搬送モデル、および統合された監視および記録機能は、半導体メーカーの厳しい要件に最適です。