中古 EATON NOVA / AXCELIS Optima HD #9311204 を販売中

EATON NOVA/AXCELIS Optima HDは最先端のイオンインプラントおよびモニタで、お客様の半導体処理オペレーションをスムーズかつ効率的に実行できるように設計されています。最大60kWのオープンフィールド動作と幅広いビームスキャン速度により、AXCELIS Optima HDは高いスループットで高深度のインプラントに到達できます。これにより、デバイスのパフォーマンスに重要な複雑なインプラントを迅速かつ正確に実行できます。EATON NOVA Optima HDの特許取得済みのデュアルビームスキャンシステムは、周波数、スポットサイズ、電力、用量などの正確なビーム制御を可能にします。また、AI駆動のTransVoltage Control System （TVCS）を搭載し、最適化されたインプラント制御のために電圧レジームを調整します。選択したインプラントのレシピをウェーハ上の実際の試験条件に合わせることで、Optima HDは範囲外イオンを最小限に抑えながら、望ましいレシピ結果を提供します。EATON NOVA/AXCELIS Optima HDは、温度、圧力などによる着床時の変動を追跡して補正することでイオンを安定させる高度な自動イオン化制御も備えています。ウェーハ製品のプロセス監視と記録を内蔵しており、重要なフィードバックを提供し、効率を最大化しながらプロセスをより良く制御および最適化することができます。AXCELIS Optima HDには、イオン注入をリアルタイムで視覚化し、プロセスが指定されたレシピに従っていることを確認するための高解像度モニターが装備されています。モニターを使用すると、埋め込みパラメータを微調整し、統計プロセス制御のための包括的なデータを提供することができます。また、穴、スパイク、歪んだ波形などの埋め込み欠陥を簡単に検出し、設定を自動的に調整して修正することもできます。産業安全仕様に準拠したEATON NOVA Optima HDには、安全インターロックや緊急停止ボタンなど、完璧な安全システムが付属しています。また、メンテナンスフリーのイオンソースを備えているため、定期的なメンテナンスや交換コストを心配する必要はありません。Optima HDには、標準的PTW-4GBレシピ開発ツール、詳細な分析とレポート、直感的なオペレータインターフェイスを含むソフトウェアもあります。要するに、EATON NOVA/AXCELIS Optima HDは、最先端の機能を備えた高度で信頼性の高いイオンインプランターおよびモニタです。最適なプロセス制御とメンテナンスコストを最小限に抑え、精密かつ効率的な埋め込みを可能にするため、半導体加工に最適です。