中古 EATON NOVA / AXCELIS Optima HD #9262050 を販売中

EATON NOVA/AXCELIS Optima HD Ion Implanter&Monitorは、優れたビーム均一性、ウェーハ品質、および一貫性を実現しながら、生産性を最大化するように設計された汎用性の高い次世代インプランタおよびモニタです。このイオン注入器は、高度なビーム技術と直感的なソフトウェアおよびハードウェア機能の革新的な組み合わせを活用して、半導体業界における新しいレベルの性能と信頼性を設定します。Optima HX Implanterは、デュアルプラズマ拡張機能を備えた独自のデュアルソースOptiSource™イオンソースを備えています。これにより、2つの異なるイオン（正または負）を各源から同時に移植することができ、最高の生産性イオン注入が可能になります。この高度なソースはまた、従来のソースよりも大幅に少ない部品を持っており、維持と制御が容易になります。ソースは、ユニークな抽出グリッド技術に囲まれており、信頼性の高いイオンの抽出を保証し、ウェーハ表面全体で一貫した均一性を提供します。AXCELIS Optima HDモニターは、ビーム電流制御、スポットサイズおよび形状監視、粒子寸法測定などの優れた監視機能を提供します。このモニターは、インプラントウェーハ領域の100％をキャプチャし、ユニークなビジョンシステムを介してインプラントプロセスのバリエーションを検出します。このシステムはインテリジェントカメラを使用して、埋め込まれたサイトの画像をキャプチャし、それらのインプラントの品質を評価します。Optima HXインプランターとモニタは、AXCELIS UNICUS™ Process Control Softwareを搭載しており、洗練された分析機能を備えたモダンなプラットフォームを提供します。業界をリードするこのソフトウェアを使用すると、オペレータは各ジョブのステータスを追跡およびトレンド化し、潜在的な問題を検出し、製品収量に影響を与える前に是正措置を実施できます。全体として、EATON NOVAのEATON NOVA Optima HDは、生産性の向上、優れたインプラントの均一性、および製品品質の向上を求めている半導体ファウンドリにとって理想的なソリューションです。この次世代のインプランターとモニターは、高度なソースとモニター技術、直感的な制御ソフトウェア、堅牢なプロセス制御機能を1つのプラットフォームに組み合わせることで、お客様は生産ラインで最高レベルのパフォーマンスと信頼性を迅速かつ確実に達成できます。