中古 EATON NOVA / AXCELIS Optima HD #9257349 を販売中
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ID: 9257349
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2010
High current ion implanter, 12"
No Hard Disk Drive (HDD)
2010 vintage.
EATON NOVA/AXCELIS Optima HDは、イオンを半導体材料に埋め込むために使用される最先端のイオンインプランター&モニターです。これはトランジスタを作成するために行われるため、マイクロエレクトロニクス部品の性能が向上します。AXCELIS Optima HDは、AXCELISとEATON NOVAの最高技術を組み合わせた業界最先端のインプラントです。EATON NOVA Optima HDは柔軟なモジュール設計を採用しており、各半導体メーカーの生産ニーズに合わせてカスタマイズすることができます。リアルタイム処理(RTP)、イオンレンジモニタ(IRM)、パルス変調制御(PMC)などの高度なプロセス制御技術を備えています。RTPにより、イオン線量が正確かつ均一にウェーハに供給され、IRMとPMCはイオンの種類と強度を正確かつ正確に制御できます。また、Optima HDは、移植されたイオンの高解像度イメージングを可能にする高度な光学機器を備えています。EATON NOVA/AXCELIS Optima HDは、イオン源の均一な形成を保証する強力な独自のソース形成技術を備えています。この機能は、デバイスのパフォーマンスを最適化し、大量のインプラントの処理時間を短縮するのに役立ちます。AXCELIS Optima HDは、イオン注入に優れた性能と比類のない品質を提供します。これは、イオンパラメータの優れた制御と移植されたイオンのより良い分解能を提供します。高度な光学システムとソース形成技術は、デバイスのパフォーマンスをさらに向上させます。EATON NOVA Optima HDには洗練された自動プロセスモニタリングユニットが装備されており、ユーザーは着床プロセスをリアルタイムで監視できます。これにより、反応時間が短縮され、より迅速なターンアラウンドが可能になります。さらに、Optima HDは、最大スループットのために複数のインプラントを同時に実行することもできます。全体として、EATON NOVA/AXCELIS Optima HDイオンインプランター&モニターは、大容量の半導体処理のための強力で先進的なデバイスです。高度な技術の組み合わせにより、イオンパラメータの優れた制御と移植されたイオンの優れた分解能を可能にします。自動プロセスモニタリングマシンとソース形成技術により、処理時間が短縮され、イオン注入の均一性が向上します。
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