中古 EATON NOVA / AXCELIS Optima HD #9244859 を販売中

EATON NOVA/AXCELIS Optima HDは、半導体ベースの材料処理に使用される組み合わせイオンインプラントおよびモニタです。この先進的な装置は、低エネルギー端子、遠隔操作可能な走査型電子顕微鏡、X線蛍光分光計、および3軸サンプルポジショナーを備えています。AXCELIS Optima HDには、試料表面に放出される光を検出するNaIシンチレータと、電流を測定する電子顕微鏡型検出器も搭載しています。これらのすべてのコンポーネントにより、EATON NOVA Optima HDは正確なイオン量をサンプル材料に正確に供給できます。ローエネルギー端子には、着床時のビームエネルギーの正確なエネルギー制御を可能にする高度な機能が装備されています。この端子は、電源、電流制御、温度制御システム、ゲートバルブ制御ユニットなど、さまざまな機能を備えています。Optima HDのすべてのコンポーネントと同様に、低エネルギー端子機能は最適な性能を得るために設計されています。また、走査型電子顕微鏡（SEM）には高度な機能が搭載されています。5軸制御と、サンプル材料に関する重要な情報を収集するために使用できる包括的な画像形成システムが含まれています。また、幅広いサンプルジオメトリに対応しています。さらに、SEMは遠隔操作を可能にするためにコンピュータ化された制御機械に連結されます。X線蛍光分光計は、着床プロセス中のドーパントおよび汚染物質の正確かつ正確な制御を保証します。リニアアクセラレータを使用して、試料材料を貫通し、材料の特性エネルギー応答を検出する高集積、高エネルギーX線ビームを生成します。このデータは、精密な埋め込みを確実にするために収集され、分析されます。3軸サンプルポジショナーは、サンプル材料を正確に操作し、最適な埋め込み精度を得るために正確に配置することができます。サンプル材料の位置を正確に空間制御し、多様なサンプル形状に対応できます。最後に、EATON NOVA/AXCELIS Optima HDには、サンプル表面から放出される光を検出するためのNaIシンチレータも付属しています。これにより、サンプルを手動で監視することなく、注入プロセスを正確に監視することができます。これにより、さらに最高レベルの埋め込み精度が保証されます。全体として、AXCELIS Optima HDイオンインプランターとモニターは洗練された強力な資産です。その高度な機能とコンポーネントにより、サンプル材料を正確に埋め込むことができ、最終的には一貫した歩留まりと信頼性の高い製品性能が保証されます。