中古 EATON NOVA / AXCELIS Optima HD #9235772 を販売中

EATON NOVA / AXCELIS Optima HD
ID: 9235772
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2010
Ion implanter, 12" 2010 vintage.
EATON NOVA/AXCELIS Optima HDはイオン注入およびモニタリング装置で、注入およびモニタリングプロセスに効率的で正確で信頼性の高いソリューションを提供するように設計されています。このシステムには、研究および生産アプリケーションの両方に最適ないくつかの機能が含まれています。AXCELIS Optima HDは、線量率制御、線量マッピング、単位校正、プロセス監視など、複数の精度機能を統合しています。高電圧ジェネレータを内蔵した高信頼性かつ高精度なインプランタ、インプランタ源、ハンドリングおよび抽出システムを備えています。これらの特徴により、様々な基板や材料にビームを正確に埋め込むことができます。このマシンはまた、ユーザーの安全を最大限に高めるためのさまざまなセーフガードとアラームを提供しています。EATON NOVA Optima HDのモニタリングツールには、さまざまなセンサーと機能が搭載されており、資産がリアルタイムでプロセスを監視し、詳細で正確な結果を提供することができます。これらの機能には、インプラント線量率、ビームエネルギー、電流、温度、真空圧力、ビームプロファイルを監視するセンサーが含まれます。このモデルは、最大500万個のインプラントデータポイントを格納することができ、ユーザーはインプラントプロセスの詳細な記録を作成することができます。Optima HDは、タッチスクリーンディスプレイ、プロセス状態の複数のグラフィカル表現、およびデータ入力フィールドを含む、ユーザーフレンドリーな視覚的なインターフェイスも備えています。このインターフェースは、植え込みプロセスの設定と制御に必要な情報をユーザーに提供します。EATON NOVA/AXCELIS Optima HDは、最も信頼性が高く正確なイオンインプランターおよびモニタリングシステムの1つです。安全で包括的でユーザーフレンドリーな機能を備えており、研究アプリケーションと生産アプリケーションの両方に最適です。
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