中古 EATON NOVA / AXCELIS Optima HD #293778546 を販売中

ID: 293778546
High current implanter (2) Load ports Wafer handling module.
EATON NOVA/AXCELIS Optima HDは、イオンおよび粒子ビーム注入アプリケーションに業界をリードする性能を提供するように設計された高度なイオンインプラントおよびモニター装置です。AXCELIS Optima HDは、高エネルギーのウェーハ加工、超低排出注入、大量生産を提供するように特別に設計されています。このシステムは革新的なビームエンベロープ駆動設計を備えており、幅広い注入エネルギーと用量を操作することができます。高度なデジタルイオン光学ユニットは、非常に均一な着床フィールドを生成することができ、優れたプロセス性能を提供します。EATON NOVA Optima HDは、統合された粒子加速度、イオン源、およびビーム制御サブシステムを備えています。これらの部品はすべて、ウェーハに幅広い活性材料、導電性材料、絶縁材料を埋め込む際に、高精度かつ高精度を提供するように設計されています。さらに、Optima HDは高度でリアルタイムな動的移植充電と温度監視も備えています。この高度なモニタリングマシンは、リアルタイムのデータ収集と分析なしでは不可能である再現性と正確な埋め込みを可能にします。EATON NOVA/AXCELIS Optima HDはユーザーフレンドリーな操作を提供し、幅広いカスタマイズオプションが含まれています。高度なグラフィカルユーザーインターフェイスにより、オペレータはエラーを最小限に抑え、メンテナンスを削減し、スループットを最大化できます。AXCELIS Optima HDには、優れたデータ分析機能を実現する高速分析プロセッサも搭載しています。このツールは、新しい技術やプロセスをサポートするために簡単にアップグレードできます。さらに、EATON NOVA Optima HDは、リモート診断機能の便利な統合を可能にします。Optima HDはSEMI S2、 S2P、 S2PAの安全規格に準拠しており、1年間のメンテナンスパッケージが付属しています。EATON NOVA/AXCELIS Optima HDは、運用コストを削減するように設計されています。AXCELIS Optima HDは、業界をリードするスピード、精度、パフォーマンスを備えており、イオンインプラントとモニタアセットのアップグレードを検討されているお客様に最適です。
まだレビューはありません