中古 EATON NOVA / AXCELIS Optima HD #293760175 を販売中

AXCELIS/Acelis EATON NOVA/AXCELIS Optima HDは、高性能、柔軟性、信頼性を単一の統合製品に提供する次世代イオンインプラントおよびモニターです。この装置は、最高のビーム均一性を提供しながら、効率と生産歩留まりを最大化するために、独自の専門知識と技術で設計されています。AXCELIS Optima HDはデュアルイオンソース技術を特長とし、幅広いインプラント濃度にわたって迅速かつ効率的な生産を可能にします。自動トランスポートにより、システムのスループット機能が強化され、ダウンタイムが短縮されます。このユニットは、柔軟性を最適化するために設計されており、カスタムのプログラマビリティ、高度な障害検出、および統一されたユーザーインターフェイスのセットを可能にします。EATON NOVA Optima HDは、最大300mm x 300mmウェーハの高解像度スキャンが可能です。この機械は0。3mm程度の堅いビーム点サイズを一貫して維持できます。また、反射の悪影響を最小限に抑えるように設計されており、インプラント工程に少数の粒子を導入しています。このツールはまた、均一性制御を備えており、最大4。5％の均一な分布を可能にします。EATON NOVA/AcelisOptima HDには、いくつかの高度な安全機能が装備されています。イオン源の温度範囲は自動的に監視され、安全な動作を保証するために最適な範囲内に保たれます。さらに、アセットはクローズドループ監視を備えており、ターゲットからのビーム散乱のリスクを低減します。このモデルも使いやすさのために設計されています。ユーザーインターフェイスはUSB recloserかPLCインターフェイスから操作をこれまで以上に便利にさせるプログラムすることができます。また、自己診断機能を備えており、問題になる前に潜在的な問題をユーザーに通知します。EATON NOVA/AXCELIS Optima HDでの動作は、振動や音響レベルが低いため、最小限の侵入が可能です。これにより、インプラントのプロセスがより静かで便利になり、生産性が向上します。このシステムは、10年間の耐用年数を提供できる信頼性の高い一連のビームデフレクターを含む、堅牢で耐久性のあるコンポーネントのために、信じられないほどの寿命で設計されています。EATON NOVA/AXCELIS/Acelis AXCELIS Optima HDはパワフルで信頼性の高いイオンインプランターとモニターです。デュアルイオンソース技術と自動搬送機能により効率が向上し、高度な安全機能により安定した安全な運転が保証されます。このユニットは使いやすさと効率的な生産のために設計されており、インプラント研究に最適です。