中古 EATON NOVA / AXCELIS Optima HD #293760169 を販売中

EATON NOVA/AXCELIS Optima HD Ion Implanter&Monitorは、半導体業界で使用するために設計されたハイエンドのインプラントおよびモニタリング機器です。それは中型および高用量生産の適用のために適し、高スループットおよび高分解能の線量の異質性を提供します。NovaAXCELIS Optima HDシステムは、高電圧電源だけでなく、高度に最適化されたビーム制御ロジックとマルチステージビームスクロールデバイスを備えています。これにより、X-Y平面におけるイオンビームの正確かつ非振動チャネリングや、用量の均一性を可能にするZ軸が可能になります。また、拡張制御リスクアセスメントと欠陥のない埋め込み機能を備えており、高いプロセス信頼性を提供します。さらに、NovaEATON NOVA Optima HDマシンは、インプラント機能を強化し、高精度で幅広い用量深度を可能にします。NovaOptima HDツールにはモニタアセットも含まれており、監視精度を高めるいくつかの機能が含まれています。これらには、リアルタイムで完全に自動化されたビームプロファイルモニタ、複数のグリッドを備えた自動ビームプロファイルモニタ、定常電流モニタが含まれます。さらに、ビーム自己診断や真空漏れ監視などの多数のモニターがモデルに統合されています。NovaEATON NOVA/AXCELIS Optima HD装置の他の機能には、注入チャンバーの積み下ろしを支援するビームアンローディングシステムがあります。このユニットはまた、堅牢な接地機、高電圧シャットオフ保護装置、統合安全インターロック監視、および統合された粒子検出器を提供しています。結論として、AXCELIS Optima HD Ion Implanter&Monitorは強力で信頼性の高いインプラントツールであり、高品質のインプラントと高スループット生産を保証する幅広い機能を提供します。付属のモニタアセットと追加機能により、精度と信頼性をさらに保証するとともに、費用対効果が高く、半導体業界の標準に準拠しています。