中古 EATON NOVA / AXCELIS NV GSDIII #293762494 を販売中

Eaton/NOVAEATON NOVA/AXCELIS NV GSDIIイオン注入器とモニターは、高度なデバイス技術の製造に使用される強力で汎用性の高い注入装置です。このシステムは、ドーパント種とドーパント種の両方を非常に正確かつ再現可能に移植し、移植種の正確な監視を提供するように設計されています。GSDIIIは、ビームエネルギー、投与量、およびターゲット上の形状を含む移植パラメータの完全なコンピュータ制御を可能にする4軸ユニットです。この機械は、望ましい埋め込みプロファイルを維持しながら、種の非常に低用量を生成するフルフィールドイオン注入器を備えた超低真空チャンバーを使用します。チャンバーは、環境を安定させるために加熱され、注入環境をさらに制御するための正確で安定したガスの流れを提供するための追加のガスマニホールドがあります。また、多種多様な基板の取り扱い構成やステージが用意されており、多種多様な基板の埋め込みが可能です。GSDIIIは、移植プロセスの簡単なセットアップと制御を可能にする近代的なデジタルインターフェイスで設計されています。これには、注入プロファイルの直感的なグラフィカル表示と、後で簡単にアクセスできるように、データの詳細なログとプロファイルの自動アーカイブが含まれます。このツールは、移植室でビームのエネルギー、投与量、形状を監視することにより、移植された種の正確なフィードバックを提供します。モニターからのセンサーフィードバックを使用することにより、オペレータは着床が必要に応じて進行していることを確認することができ、必要に応じてパラメータを再調整することができます。GSDIIIアセットから入手可能な包括的な制御は、効率的で強力な設計と組み合わされ、さまざまなインプラント活動の移植に最適です。このモデルは信頼性が高く、容易に保守可能であり、最大の浸透効率を確保します。堅牢な設計とユーザーフレンドリーなインターフェースにより、機器は信頼性が高く、真に高度なインプラント技術ソリューションになります。