中古 EATON NOVA / AXCELIS NV GSDIII LE #9083650 を販売中

EATON NOVA/AXCELIS NV GSDII LEイオン注入器とモニターは、物理的性質を変更するために材料に正確に制御された量のイオンを提供するのに役立つ洗練されたツールです。このプロセスは、デバイス製造のための半導体業界で一般的に使用されています。AXCELIS NV GSDII LEはイオン源を利用してイオンを生成します。これらのイオンは、所望のインプラント用量とエネルギーに応じてエネルギー拡散を作成するために加速され、質量分析されます。さらに、GSDIII LEはマルチチャンバー設計で設計されており、着床プロセス中の精度と精度をさらに向上させます。GSDIII LEには、最先端の監視機器が装備されています。これらのモニターは、温度、電圧、電流の微細な変化を検出するように設計されています。アナログおよびデジタル制御システムは、すべてのプロセスが意図されている正確な方法で発生することを確実にするために、正確かつ正確です。優れた制御と精度を提供することに加えて、EATON NOVA NV GSDII LEも調整可能な線量率を提供します。これにより、さまざまな半導体アプリケーションの要件を完全に満たすことができます。用量レートの広い範囲は、様々なチップ設計のための最適に合わせた注入スケジュールを可能にします。さらに、モジュラー構造を利用することで、ユーザー固有のニーズに合わせて簡単にカスタマイズできます。NV GSDIII LEはまた、ユーザーの保護を確保するために、さまざまな安全機能を備えています。これらの機能には、レーザーおよびイオンビーム露出を低減する保護シールドと、多数の安全インターロックが含まれます。さらに、イオン注入プロセスによって生成される発煙を排出するメンテナンス発煙フードも含まれています。EATON NOVA/AXCELIS NV GSDII LEは、イオン注入とモニタリングのための信頼性の高い包括的なツールです。洗練された制御システム、調節可能な線量率、および安全機能により、さまざまな半導体デバイスに最適です。さらに、モジュール構造とカスタマイズの容易さにより、多くのアプリケーションに対応する汎用性の高いアプライアンスとなっています。