中古 EATON NOVA / AXCELIS NV GSD #293817741 を販売中

EATON NOVA/AXCELIS NV GSDは、デバイス製造の精度と効率を最大限に高めるために設計された最先端のイオン注入装置および監視装置です。堅牢なDC/RFデュアルモードビームデリバリーシステムと、RF/DC電極構成の革新的な組み合わせを使用して、イオン線量を正確に沈殿および監視します。このユニットは、ユーザー定義および工場設定されたレシピに対して統一されたユーザーフレンドリーなインターフェイスを提供し、100％クリーンルーム互換の操作と、超高純度の生産が望まれる他の場所でも、一貫した再現性のあるパフォーマンスを保証します。直感的なGUIにより、高いレベルの制御、利便性、安心感を備えたパワーダウンとパワーアップの両方の操作が可能になります。セルフキャリブレーティングマシンにより、イオン線量、ビーム電流、およびその他のプロセスパラメータを正確かつ迅速に調整し、理想的なデバイス性能を実現できます。独自のアラームとアラートは、パフォーマンスレベルを監視し、目的の目標からの逸脱をユーザーに警告します。さらに、このツールの高度な光学系は、ダイナミックビームプロファイルと自動アライメント機能を提供し、一貫した正確な埋め込み結果を保証します。AXCELIS NV GSDはまた、診断および分析ツールの配列を提供し、最大の効率とプロセスの整合性を確保します。これらには、総線量試験とDC/RFエネルギーコントロールチェックが含まれ、インベドメント性能の検証、ウェハロットおよびウェハカウント分析が含まれます。蒸発とインプラントの両方のアプリケーションのための包括的な均一性テストもあります。EATON NOVA NV-GSDは、高度な機能と機能の印象的な配列を提供します。コスト効率が高く、正確なイオン注入とモニタリングのために利用可能な最先端のシステムの1つです。その結果、半導体チップや集積回路部品から通信システム、メディカルエレクトロニクスまで、さまざまなデバイスに展開できます。さらに、必要な安全機能を備えており、厳格な工業生産のすべての要件を満たしています。