中古 EATON NOVA / AXCELIS NV GSD #293637189 を販売中

EATON NOVA / AXCELIS NV GSD
ID: 293637189
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1993
High current implanter, 8" Chamber 1993 vintage.
EATON NOVA/AXCELIS NV GSDは、イオン注入アプリケーションで優れた性能を提供するように設計された高度なイオン注入器およびモニターです。最適な設計と信頼性の高い操作により、GSDは正確で再現可能な用量の正確で再現性のある埋め込みを保証することができます。GSDは、半導体デバイスの製造、光学材料の製造、有機および無機材料の仕上げなど、さまざまなアプリケーションのニーズに最適なソリューションです。AXCELIS NV GSDは、高度なイオンソース制御を備えており、正確で正確な線量制御を可能にします。この制御装置は、ビームの欠陥を低減し、精度を向上させるために精密な制御を提供し、正確で再現性のある埋め込みを可能にします。さらに、GSDは、インプラント濃度を監視し、ビームの乱れを検出するために使用される高分解能値メーター(HRVM)を提供します。EATON NOVA NV-GSDは、統合されたアレイ充電システム(ACS)と放射アレイ・ユニット(RAS)を通じて、高い柔軟性と精度を提供します。ACSはイオン種と用量の正確な制御を提供するように設計されており、パフォーマンスと信頼性を向上させるための最適なインプラント・パラメータの選択を可能にします。RASは、正確かつ再現可能な着床時間を提供する先進的な機械であり、さまざまな基板や材料の正確な制御を可能にします。NV GSDには、グリッドの高速イメージングを可能にするビデオトリガツール(VTR)が装備されています。このアセットは、移植条件が異なる場合でも正確かつ正確な操作を保証します。さらに、GSDにはユーザーフレンドリーなGUIとランタイムインターフェイスが装備されており、簡単で直感的な操作が可能です。AXCELIS NV-GSDは、補助制御、リモートコントロール、データロギングなどの高度な機能を備えた完全統合モデルです。これにより、温度制御、ビーム制御、ドウェル時間制御など、着床パラメータとプロセスを完全に制御できます。GSDも拡張可能で、ユーザーは特定の要件を満たすようにセットアップをカスタマイズできます。NV-GSDの高度な機能と卓越した性能を兼ね備え、あらゆるイオン注入アプリケーションに最適です。その強力で信頼性の高い機能と優れた性能により、最も困難な材料でも確実かつ正確にインプラントすることができます。イートンノバ/アクセリスNV -GSDは、精密かつ反復可能なイオン注入を必要とするあらゆるアプリケーションに最適なソリューションです。
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