中古 EATON NOVA / AXCELIS NV GSD-HE #9203805 を販売中
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販売された
ID: 9203805
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1997
High energy ion implanter, 8"
Chamber
Extraction assy
Source isolation valve
Injector faraday assy
LINAC Chamber
Quadrupole assy
Resonator assy
Resolver faraday
E-Shower assy
P2 Cryo pump
(2) CTI Cryo compressors
End-station module:
DEXON With air circulation curtain
AXCELIS STD ATM Robot
Notch
Dummy cassette
(2) Load buffers
Vacuum cassette
(4) Cassette tables
Beam profile oscilloscope
Cell controller: 133
Load-lock type: GSD 100 / 200, HE
Main SUN computer SPARC station 5
Main monitor
Fiber loops
Process module:
Disk NV-GSD-200 segment type
Faraday flag
Electron shower
In-Vac arm
Wafer holder
Gyro
Linear drive
Rotary drive: Direct drive
Beamline module:
HV Power supply: Advance HIVOLT
HV Stack: OL8000 / 104 / 05, 100 kV
Post ACCEL volt: Maximum 1 MeV
Extraction suppression PS
AMU: BSL
AMU: PS EMI EMS 40-150
Hall probe: AMU / FEM
LINAC System: HE STD
(10) Resonators
(2) ADVANCED ENERGY 3155038-001 RF Power supplies
(8) ADVANCED ENERGY 3155038-004
(5) Quad power supplies: GHI PS / Dual output
FEM BSL
(2) EMI EMS 30-165 FEM Power supplies
Source module:
ELS Source head
EMI EMS 10-60 Filament PS
EMI EMS 150-7 Arc PS
Cathode PS
Source magnet STD
EMI EMS 25-25 Source magnet PS
Source bushing
HE Extraction assembly
Gas box module:
Gas box type: GSD-100, 80 KV
Gas loop 1: Ar, HP
Gas loop 2: BF3, HP
Gas loop 3: AsH3, SDS
Gas loop 4: PH3, SDS
Loop 1 MFC: MKS 1179A, Ar, 5 sccm
Loop 2 MFC: MKS 1179A, N2, 10 sccm
Loop 3 MFC: MKS 1640A, AsH3, 5 sccm
Loop 4 MFC: MKS 1640A, AsH3, 5 sccm
Vacuum system:
LEYBOLD HERAEUS TurboVac 1000C Source turbo
LEYBOLD HERAEUS Turbotronik NT 1000 / 1500 VH Controller
CTI-CRYOGENICS OB-8 Resolving cryo pump
CTI-CRYOGENICS OB-10 V3 Cryo pump
LEYBOLD HERAEUS TurboVac 1000C Linac turbo (Right)
LEYBOLD HERAEUS Turbotronik NT 1000 / 1500 VH Controller
LEYBOLD HERAEUS TurboVac 1000C Linac turbo (Left)
LEYBOLD HERAEUS Turbotronik NT 1000 / 1500 VH Controller
LEYBOLD HERAEUS TurboVac 1000C / Beam guide turbo
LEYBOLD HERAEUS Turbotronik NT 1000 / 1500 VH Controller
CTI-CRYOGENICS OB-250F Disk cryo pump
(4) EATON NOVA / AXCELIS 3300002
Make / Gas name / Usage / Size
SWAGELOK / CDA / Machine air / SUS Male, 3/8"
SWAGELOK / Ar / Process Air / SUS Male, 3/8"
SWAGELOK / PN2 / Process vent / SUS Male, 3/8"
SWAGELOK / GN2 / Purge vent / SUS Male, 3/8"
SWAGELOK / N2 / Gas box / SUS Male, 3/8"
SWAGELOK / SF6 / Linac / SUS Male, 3/8"
Missing parts:
Gas box DI PCB
P8 Turbo pump
Input power: 480 VAC, 3-Phase, 60 Hz, 87 kVA
Output power: 1 MeV, 1 mA
1997 vintage.
EatonEATON NOVA/AXCELIS NV GSD-HEはイオン注入プロセスの高度な制御を提供する革新的なイオン注入器およびモニターです。この信頼性の高いデバイスは、最新の高電圧技術、高度な自動ビーム電流モニタ、プログラム可能なエンドオブドーズ計算など、包括的な機能と機能を提供します。インプラントを正確に制御しながら、コストを削減し、廃棄物を最小限に抑えるように設計されています。高い性能は高度な電子制御システムによって達成され、信頼性と均一なインプラントを提供します。制御システムは、高度なクローズドループビーム電流監視と自動ビーム電流制御を備えており、注入の最高精度を提供します。GSD-HEには、インプラントの開始/停止時間を正確に制御するためのプログラマブルパーティショニングを備えたデジタルタイマーもあります。GSD-HEは装置およびオペレータへの損傷を防ぐ作り付けの安全特徴を特色にします。クイックシャットダウン用の非常停止ボタン、最大限の保護のための外部放射シールドが装備されています。さらに、GSD-HEは、材料の漏れを最小限に抑え、環境負荷を低減するために、低放射、低漏出近飽和設計で設計されています。EatonAXCELIS NV GSD HEは、高度な制御、安全機能、および最適化された設計により、あらゆる産業環境での使用に最適です。安定したビーム電流制御と正確な線量率の計算を提供し、オペレータはイオン注入プロセスを完全に制御することができます。さらに、高い信頼性と均一な注入性能により、最高品質の製品を保証します。高度な機能を備えたEatonEATON NOVA NV-GSD HEは、あらゆる産業環境に不可欠なツールです。
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