中古 EATON NOVA / AXCELIS NV GSD-HE #9195914 を販売中
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販売された
ID: 9195914
ウェーハサイズ: 8"
Ion implanter, 8"
SUMITOMO EATON NOVA End station
Source / Injector region: ELS
Electrode assembly: SEN
Gas channels: Ar, BF3, PH3, AsH3
High pressure gas
Injector PD / DI
S.Control DI
Filament PS
Cathode PS(ELS)
Arc PS
Extraction HVPS
Suppression PS
Vac gauge controller
Analyzer magnet PS
Source magnet PS
Injector electronic DI
Gauss controller
S.Turbo/Controller
S.Gas control DI
Beam guide assy
Source gate valve
High voltage stack
Hall probe
Injector beamline DI
Injector Faraday
RP1 Pump
Isolation tank
Vaporizer: No
Analyzer turbo/Cont: No
Linac region:
AC PD Box
RF PS
Resonator can
Pneumatic control box (1&2)
Turbo pump: STP-H600C
Control: Yes
Cooling tube
RF Generator
FEM Control DI
Quad PS
Vacuum controller
Roughing pump (RP4)
Gauss meter / Probe: 1157450 / AXCELIS
Magnet DI
Wire harness
Quad assembly
Resolving housing region:
Electron shower assy
Gyro control DI
In-Air control DI
Loadlock control DI
Electron shower PS
Robot control DI
Cryo pump (P2,3,9)
Wire harness
Cell controller
Flag Faraday
Cryo compressor
Roughing pump (RP2)
Data link hub
Cryo on-board DI: No
End station region:
Rotary drive motor
(4) Cassette tables
Disk W/spare
Rotary drive DI
Y-scan control DI
HCIG Controller
Cassette door
Disk TC control DI
In-Air robot W/chuck
Dose control DI
Flat aligner
Dummy buffer
Vacuum cassette
Resister box
Cassette stand
Load buffer
In-Vac arm
Laminar flow hood
Clamp
Wafer holder
Sun workstation
Disk removal tool: No
Ground region:
Main PD DI
Triple loop chiller
UWX30
Oscilloscope
Smoke detector
Power cable: No
Work table: No
Sun workstation: No
(2) Laminar flow hoods
Outer door
Panels:
Loop panel
Outer enclosure panel
Lead panel
Endstation glass panel
Floor
Manual / Drawing:
Operation manual
Maintenance manual
Endstation align manual
Calibration manual
Original vendor manual
System drawing.
EATON NOVA/AXCELIS NV GSD-HEは高性能イオン注入器およびモニターです。インプランターは、インプラント技術の最新技術を活用し、イオンを注入する際の優れた性能と制御をユーザーに提供します。GSD-HEはまた、精度と安全性を確保するために高精度の監視装置を備えています。AXCELIS NV GSDの中心には、実装システムがあります。このユニットは、最大500keVのエネルギーにイオンを加速することができる高効率イオン源を使用しています。このエネルギーは、さまざまな材料の表面にイオンを深く埋め込むのに十分です。イオン注入器はまた、精密で均一な注入を保証するために、いくつかの異なるレンズを備えています。さらに、GSD-HEには、ユーザーが放出されるイオンの量を正確に制御できる調整可能なシャッターが装備されています。また、GSD-HEは多数のモニタリングシステムを備えています。これらのシステムは、機械の性能の偏差を検出し、イオン電流、ビーム不安定性、汚染、およびその他の変数などの埋め込みパラメータを正確に読み取るように設計されています。また、モニターはこれらの値をリアルタイムログに記録し、将来の参照用に閲覧またはダウンロードすることができます。EATON NOVA NV-GSD他にも様々な操作が可能です。例えば、インプランターは特定の特性を持つ粒子を拒否するようにプログラムすることができ、目的のターゲット粒子を濃縮することができます。また、エネルギーとインプラント率を変化させる機能もあり、ユーザーは特定のアプリケーション要件を満たすようにインプランターをカスタマイズすることができます。さらに、GSD-HEは、PECVD、 PACVD、および金属化学蒸着（MOCVD）のような異なる種類のプラズマ処理に使用することができます。GSD-HEには、さまざまな安全機能が装備されています。異常な動作を検出するセンサーの配列を介してインプランターのパフォーマンスを監視します。このツールはまた、緊急時に資産をすばやくシャットダウンするために使用できる緊急停止ボタンを備えています。結論として、EATON NOVA NV GSD/HEは、高度で信頼性が高く、汎用性の高いイオンインプラントおよびモニターです。GSD-HEは、優れた性能、精度、安全機能をユーザーに提供し、さまざまなアプリケーションに最適です。
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