中古 EATON NOVA / AXCELIS NV GSD-HE #9163722 を販売中
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ID: 9163722
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2000
High energy implanter, 8"
Wafer type: Notch
Vaccum system:
Cryo compressor: CTI 9600, CTI 8500
Beamline cryo pump 1: OB8 (P2)
Beamline cryo pump 2: OBIO (P3)
AMU Turbo pump: TMP1000 (P8)
Terminal rough pump: EBARA
LINAC Rough pump: EBARA
Endstation rough pump: EBARA
Vacuum controller: HCIG
IG3: Ion gauge
Endstation info:
(4) Cassettes
Dummy wafer: Integrated "Dummy wafer" Fill-In capability
Wafer handling system: In-Air / In-Vacuum high throughput
Particle filter system: Class 1, UPLA Filtered
Implant angle capability: Two axis variable implant angle (+/-11 deg in two axes) (Quad)
Process disk spindle: GSD series process disk (installed )
Beam monitoring system: Real-time patented Dose Control
Process Disk: Non silicon coated process disk
Process disk cooling interlock: Yes
Terminal info:
Gas box option: Modular gas box / Four string gas box options
Extraction PS: 90KV
Extraction voltage monitor: Yes
Ion source: ELS Type
Extraction electrode: (3) Axis extraction electrode (Sen type)
AMU system: Triple indexed mass analysis magnet and power supply
Injector faraday: Injector flag faraday
Dry transformer
LINAC and FEM:
(10) Power supplies: 3kW 13.56 MHz
(10) High energy resonator cavitites and electrodes
(5) Upgraded quadrupole lens assemblies and power supplies
Resolving faraday: Yes
Double indexed final energy magnet (FEM) and power supply: Yes
Charge control technology (SEF - Secondary electron flood): No
SVR: No
Closed-Loop cooling system selection:
Cooling system: Sen type
Disk chiller: Sen type
General Info:
Main isolation transformer: Yes
Smoke detector: Yes
Exhaust flow switch: Yes
Light tower: Yes
Currently de-installed
2000 vintage.
EATON NOVA/AXCELIS NV GSD-HEは、半導体基板にドーパントイオンを埋め込むように設計されたイオンインプラントとモニター、および完全に統合された機器です。この汎用性の高いシステムは、精度と精度を確保するためにハイテクなモニタリングシステムを使用しているため、幅広い埋め込みプロファイルを可能にします。最先端の埋め込みプロジェクトのための最先端の技術要件を満たすように構築されており、一貫して高品質の交換を提供することができます。AXCELIS NV GSD HEはI=Vとパルス式高電圧の2つのモードで動作します。各アプリケーションの最適な条件は、EATON NOVA NV-GSD HEの低ノイズプリアンプとビーム位置モニタによって決定されます。これらのモニタには、ビーム電流モニタ、高電圧電源、イオン質量分析装置など、さまざまなフィードバック制御デバイスが採用されています。これにより、ほとんどのウェーハフロントエンド操作のための優れたビーム安定性とビーム制御で、着床プロファイルを完全に制御できます。このユニットは、移植を正確に制御するために、さまざまな高度なプログラミングオプションを使用しています。これらのプログラミング機能には、調整可能なビーム方向、電流、電圧、バイアス、およびエネルギー選択、ならびに高純度イオン源の取り込みが含まれます。イオン源は別途購入されます。また、デジタルタイミングとプログラマブルなアナログ/デジタル変換が含まれており、処理プロトコルの迅速かつ簡単なキャリブレーションを可能にします。EATON NOVA NV-GSD-HEマシンは、包括的な電子健康モニタリングツールと人員を放射線や他の危険から安全に保つ緊急シャットオフで、安全を念頭に置いて設計されています。アセットには、ビーム干渉低減技術とともに、最高レベルの充電とイオン源の安定性を備えています。内蔵の診断機能により、ユーザーは処理エラーをトラブルシューティングし、問題を迅速かつ簡単に特定できます。EATON NOVA/AXCELIS NV-GSD EATON NOVA/AXCELIS NV-GSDは、タイムリーかつ正確なデータを提供するため、ユーザーはインプラントのアウトカムを決定し、必要に応じて調整することができます。その高度なプログラミング機能は、高品質の埋め込み結果を保証し、その安全機能は、人員の安全を確保します。このモデルは、高性能と信頼性の組み合わせで、あらゆる埋め込み作業に最適です。
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