中古 EATON NOVA / AXCELIS NV-GSD-A-80 #9226069 を販売中

EATON NOVA/AXCELIS NV-GSD-A-80イオンインプラントおよびモニターは、イオンを半導体材料に埋め込むための高精度ツールです。シングルウエハやバッチインプラントに使用できる全自動の装置です。最先端のエレクトロニクス技術と真空技術を搭載し、高精度・高精度を維持しながら、最大80kWのエネルギーを一発で供給します。これは、今日市場で入手可能な最も先進的な注入システムの1つです。AXCELIS NV-GSD-A-80は、エネルギー、電界、イオン線量率、ドーピングの種類とレベル、スポットサイズ、プログレッシブスキャンなど、インプラントのパラメータを完全に制御する最先端の制御ユニットを備えています。これにより、半導体製造に使用される幅広い材料を非常に正確に埋め込むことができます。EATON NOVA NV-GSD-A-80は、手動調整の必要性を排除する自己調整シャッターマシンも備えています。このツールには、プロセスの再現性と再現可能なプロセス結果を保証する包括的で統合された監視資産も装備されています。この監視モデルには、ビーム強度、電流、電力、エネルギー、電圧、温度、時間、および追加パラメータに関するフィードバックを提供するさまざまなセンサーが含まれています。また、パラメータの視覚的な表現を提供し、必要に応じて迅速な調整を可能にする高度な監視GUIも含まれています。ATI AXCELIS統合埋め込み装置には、埋め込みプロセスに最適な温度を維持するための洗練された冷却システムも装備されています。この冷却ユニットは、埋め込みプロセスの精度と再現性を向上させ、ダウンタイムを削減するのに役立ちます。NV-GSD-A-80は、ジャンクションドーピング、コンタクトドーピング、エピタキシャルサイトドーピング、スパッタリング、メッキなど、さまざまな用途に使用できる汎用性の高いツールです。また、半導体製造に使用されるシリコン、ヒ素ガリウム、リン酸インジウムなど幅広い材料に適しています。全体として、EATON NOVA/AXCELIS NV-GSD-A-80は、さまざまな半導体材料を高精度に埋め込むために設計された、高度で完全に自動化されたイオンインプラントおよびモニターです。このマシンは、包括的な制御、統合された監視ツール、洗練された冷却資産、およびより高速なデータ分析のための包括的なGUIを提供します。これにより、再現性のある高品質な処理結果とプロセス制御の改善が可能になります。