中古 EATON NOVA / AXCELIS NV GSD A 160 #293610571 を販売中

EATON NOVA/AXCELIS NV GSD A 160は、半導体製造プロセスの最先端の要件を満たすように設計された最先端のイオン注入器およびモニターです。それは業界で利用可能な最も包括的なインプランター装置であり、他のシステムと比較して多くの利点を提供します。このシステムは、高速16ビットのアナログイオン電流測定を提供し、高分解能イメージングを実現し、正確なイオン注入と最適化されたインプラント周囲（OIP）を可能にします。AXCELIS NV-GSD-A-160には、調整可能な高電圧プラットフォームと2つのスケーラブルなビーム軸を備えた1。87メートルの長方形の基板ホルダーが装備されており、正確な二軸インプラントが可能です。EATON NOVA NV GSD-A-160はまた、プロセス性能を評価するための診断ツールと測定機器の完全なセットを提供しています。NV GSD A 160には、高分解能イメージングユニット、高圧プラットフォーム、2軸インプラントの3つの主な機能があります。イメージングツールは、100ミクロンの解像度CCDチップと、最も詳細なイオン注入プレビューを可能にする高度なコーナーステアリング光学で構成されています。また、用量とエネルギー分布を正確に制御するために使用できるOIP機能も備えています。高電圧プラットフォームは、最大50キロボルトの動作が可能で、より大きなイオンビームを使用する場合に優れた制御を提供します。2軸移植アセットは、x、 y、 z、およびシータ軸からなる4軸の各セットで、4軸のイオンを一度に移植することを可能にします。また、完全なモーションコントロールとプロセスモニタリングが付属しており、着床プロセスを完全に制御できます。最後に、NV-GSD-A-160はまた、診断とモニタリングオプションの広い範囲を提供しています。ハードウェアとソフトウェアのパフォーマンスのすべての側面を監視するガーディアンモデルと、イオンビーム構成とエネルギーレベルを決定するために使用できるイオンインプラント診断（IID）ツールが装備されています。機器はまた、インプラント工程を分析するための測定機器とツールの包括的なセットを提供しています。全体として、AXCELIS NV GSD A 160は、高度な半導体製造プロセスを実行するための理想的なツールです。高解像度イメージングシステム、調整可能な高電圧プラットフォーム、2軸インプラント装置、包括的な診断ツールを備え、複雑なインプラントに必要なすべての機能を提供します。EATON NOVA/AXCELIS NV-GSD-A-160は、トータルコントロールアプローチを提供することで、製造業務に大きなメリットをもたらします。