中古 EATON NOVA / AXCELIS NV GSD 200E #293586689 を販売中

EATON NOVA/AXCELIS NV GSD 200Eは最先端のイオン注入器およびモニターです。半導体製造プロセスでは、ホウ素、リン、ヒ素などのドーパントを基板材料に導入し、望ましい電荷を生み出す役割を担うイオンインプランターが使用されています。AXCELISのAXCELIS NV-GSD-200Eモデルは、生産フロア向けに構築され、最大スループットのための優れたパフォーマンスを提供します。EATON NOVA NV-GSDの200Eは高精度、改善された均等性およびより大きい適量制御のための高度の高エネルギービームラインの技術を特色にします。このイオン注入器には、マルチフィラメント高電流コッククロフト-ウォルトン装置が装備されており、基材に最大1000Aの非常に大きな電流を供給することができます。これにより、異なる基板にわたって一貫した均一なインプラントプロファイルが作成され、パフォーマンスが向上します。AXCELIS NV GSD 200 Eは、高度なビームライン技術に加えて、基材にマスクを正確に配置できる正確な光学アライメントシステムを備えています。これにより、マスクの整列を最小限に抑えた正確な着床プロセスが保証されます。イオン注入器には、3次元線量マップアナライザとリアルタイムフィードバックループも含まれており、いずれもプロセス全体を通じてイオン注入プロセスを正確に制御することができます。NV-GSD-200Eには、注入プロセスがスムーズかつ効率的に実行されていることを確認するために、内蔵のモニターユニットが付属しています。このモニタマシンは、プロセスとビームラインデータを記録し、イオン注入プロセスのエラーや誤動作を検出することができます。これにより、ユーザーは問題をすばやく診断して修正し、ダウンタイムを短縮できます。全体として、AXCELIS NV GSD 200Eは強力で信頼性が高く、柔軟なイオンインプランターとモニターです。その高度なビームライン技術と光学アライメントツールは、一貫した均一なインプラントとマスクの正確な配置を可能にします。オンボードモニタアセットは、プロセスのエラーを検出および診断するのに役立ち、ダウンタイムを最小限に抑えます。AXCELIS NV GSD-200Eは、イオン注入プロセスの優れた性能、精度、および制御を求めるあらゆる生産現場に最適です。