中古 EATON NOVA / AXCELIS NV GSD 200E #163109 を販売中

EATON NOVA/AXCELIS NV GSD 200Eは、高度なイオンインプラントとモニターです。これは、幅広い基板にわたって効率的で信頼性の高い正確なドーパント注入を提供するように設計されています。機械はイオン源を利用して、望ましいエネルギーに加速されるイオンのビームを生成します。このビームは、ドーパントイオンを基板材料に埋め込む電極を介して適切な基板に向けられます。AXCELIS NV-GSD-200Eは、高性能で正確なイオン注入結果を提供するユニークなデジタルドライブユニットを備えています。このデジタルドライブユニットはデジタルフィードバックループを備えており、ビームの「発振」を最小限に抑えて最適な着床結果を得ることができます。さらに、デジタルドライブユニットは、0。5から40 keVまでの広い範囲の埋め込みエネルギーを提供するために調整することができます。マシンはまた、堅牢な監視装置で構成されています。モニターは、各インプラントの投与量とエネルギー、およびプロセス中の基質温度のリアルタイムの更新を提供します。その結果、ユーザーは最適な結果を得るために注入プロセスを微調整するために注入パラメータを調整することができます。EATON NOVA NV-GSD 200Eは、プロセス中にきれいな注入チャンバーを維持する真空システムを備えています。この真空ユニットは、ベンチュリポンプとターボポンプの両方で構成されています。その結果、このマシンはISO 5クラスのクリーンルーム環境で使用できます。最後に、NV-GSD-200Eは冗長な安全および制御機械のために非常に安全、信頼できます。このツールは、潜在的な危険な状態をユーザーに警告するための冗長な安全制御、アラーム、および警告システムを提供します。さらに、このマシンは、アークや基板への他の損傷の可能性を減らし、排除するように設計されています。結論として、NV GSD 200 Eは強力で信頼性の高いイオンインプランターとモニターです。デジタルドライブユニットにより効率的で正確なインプラントを提供し、モニタリング資産は基板の状態をリアルタイムでフィードバックします。堅牢な真空モデルにより、iso 5クラスのクリーンルーム環境で使用することができ、その冗長性の特徴により、ユーザーは潜在的な危険条件から安全であることが保証されます。