中古 EATON NOVA / AXCELIS NV GSD 200E #162060 を販売中

EATON NOVA/AXCELIS NV GSD 200E Ion Implanter&Monitorは、さまざまな材料に対応できる高精度で大面積のインプラントが可能な高度なイオンインプラントです。それは信頼できる、険しい設計を特色にし、操作が常に安全であることを保障するために安全機能の広い範囲が装備されています。AXCELIS NV-GSD-200Eは、高電圧DCソースを駆動し、最大10kWの低エミッタンスビームを生成することができます。その精密なビーム制御および精密な調節システムは一貫したドーピングの配分および正確なビーム整列を保障します。このデバイスは、自動化されたプロセス制御と完全な診断機能も統合されており、操作の簡素化と正確なパフォーマンスの確保に役立ちます。このイオン注入器は半導体製造のために設計されており、広範囲の注入エネルギー、利用可能なビーム電流の広い範囲、および異なった適用のために使用することができるイオンのタイプを提供します。精密な注入のためのハイエンドの位置決め機能と、インプラント用量のリアルタイム制御を提供する高分解能ビーム電流モニター装置を備えています。このデバイスはまた、精密な線量とアライメントと信頼性の高い基板処理を保証するための高度な電子制御を備えています。このデバイスは、インプラント材料の損傷を防ぎ、プロセス中の放射線安全を確保するために、電子ビームセーフカバーによって保護されています。EATON NOVA NV-GSD 200Eはまた、高度な熱制御システムを備えており、一時的な停電や周囲の状況の他の変化に対して一貫した温度に留まることができます。それに堅く、軽量の構造があり、それをいろいろ産業および科学的な適用のために理想的にさせます。簡単なメンテナンスと明確な指示により、GSD 200Eを使いやすく維持できます。さらに、他の機器と統合することができ、スムーズなワークフローと最大単位効率を確保します。NV GSD-200E Ion Implanter&Monitorは、さまざまなエネルギーで正確かつ大面積のインプラントを実行するための高度で信頼性の高い機械です。それは安全機能の広い範囲を提供し、他のシステムと統合することができます、産業および科学的な適用のための理想的な選択をします。