中古 EATON NOVA / AXCELIS NV GSD 200 #293817965 を販売中

EATON NOVA/AXCELIS NV GSD 200は、高性能イオンインプランター&モニターです。この最先端のツールは、イオン種の半導体基板への正確で信頼性の高い正確な埋め込みを提供します。GSD 200イオンインプランターは、ウェーハからグラフェム、金属膜、ナノワイヤ、その他のナノ構造材料まで、幅広い材料を処理するように設計されています。イオンインプランターは、カスタマイズ可能な加熱システムを備えており、効率的な着床に必要な正確な温度を設定することができます。より高い電圧性能により、より大きなイオンビームエネルギースプレッドを持つナノ構造物の容易な処理が可能となり、より高い埋込精度を実現します。そのマルチゾーンファラデーケージアーキテクチャは、イオンビームのより良い焦点と同様に、余分な電気および磁場からのシールドを提供します。GSD 200のモニター機能は、より良いプロセスの一貫性と移植用量の監視のための信頼性の高い正確なプロセス制御を提供します。モニターは、入射イオンビームの微妙な変化を検出し、移植された線量の正確さを正確に示します。GSD 200の制御インターフェイスには、グラフィックユーザーインターフェイス、マクロプログラミング、および多数の繰り返しプロセススクリプトなどの高度な機能があります。注入プロセスを完全に制御することで、インプラントの効率が向上し、迅速な搬送が可能になります。GSD 200は、優れたプラズマ均一性と低エネルギー拡散制御も提供します。それに優秀なビームオンタイムの規則およびイオンビーム方向の制御があります。また、物理的な配置や真空環境での収差を補うためにシステムを構成することもできます。GSD 200は、ユーザーにさまざまな移植プロセスのターンキーソリューションを提供します。堅牢な設計、幅広い適用性、高度な制御機能を備えたGSD 200は、イオン注入とモニタリングに最適です。