中古 EATON NOVA / AXCELIS NV GSD 200 #293745414 を販売中
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EATON NOVA/AXCELIS NV GSD 200は、高性能チップ製造および試験用に設計されたイオンインプラントおよびモニタです。このデバイスを使用すると、より高い精度と生産管理でイオンを半導体基板に埋め込むことができます。イオンインプランターとモニターという2つのメインモジュールで構成されています。インプラントモジュール内のエジェクターシステムは、インプラントサイクル中にさまざまなワークピースで低PDSおよびTPHインプラントを生成することができます。このデバイスには、プラズマの安定性を高め、プロセス制御を改善し、変動を低減するいくつかの独立した電源が含まれています。さらに、複数の専用ハードウェアインターフェイスを備えた統合コントローラを備えており、パフォーマンスと制御を向上させます。これにより、信頼性が向上し、より効率的なデータ取得が可能になります。マシンのモニターモジュールは、プロセス制御を可能にするリアルタイムパラメータを表示することができます。これには、開閉ループ操作を備えた制御システムが含まれており、オペレータは即座にインジェクションパラメータを変更することができます。さらに、このデバイスには、インプラントとモニターモジュールの両方にリンクされた抵抗モニターが装備されており、時間の経過とともに抵抗の変化を測定および分析します。これは、注入プロセスの任意の異常を識別し、分析するのに役立ちます。このデバイスには、内蔵の真空システムと、汚染物質を最小限に抑え、空気循環を最大化するための大型真空チャンバーも装備されています。これにより、最適な埋め込み品質が保証され、生産レベルの信頼性が向上します。さらに、動作中の環境変動から保護され、エラーの可能性を低減し、生産性を向上させます。AXCELIS NV GSD 200は汎用性と信頼性の高いイオンインプランターであり、チップの製造とテストに最適です。
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