中古 EATON NOVA / AXCELIS NV GSD 200 #293721218 を販売中

EATON NOVA/AXCELIS NV GSD 200は、半導体部品の製造のためのイオンを製造および監視するように設計された高エネルギーイオン注入器およびモニターです。NV GDS 200は、複数のイオン注入プロセスを1つの統一された機器に統合し、生産性、精度、効率を最大化するために特別に設計された、信頼性の高い先進的なツールです。AXCELIS NV GSD 200には4つのDCハイエネルギーイオン銃が装備されており、それぞれにシャッターと独立した電源が備わっています。この銃は、最大190keVの調整可能なビームエネルギー範囲を提供し、より高いトン数とより広いインプラント機能を可能にします。EATON NOVA NV-GSD-200は、イオンビームの均一性とイオンインプラント領域の残骸濃度を測定することができる強力な現場モニターも備えています。このモニターは、190 keVまでのエネルギーのイオン、およびプロファイル、電流、電圧、ピッチ角を測定します。また、EATON NOVA NV GSD 200には、設定を制御し、データを分析するためのソフトウェア機能が搭載されています。このソフトウェアは、インプラントのプロセスを最適化し、プロセスの変動を減らし、一貫して高品質の製品を提供するのに役立ちます。EATON NOVA/AXCELIS NV-GSD-200は、システムのピーク性能を維持するように設計された自動メンテナンスシステムも備えています。自動化された機能には、視覚障害ユニット、電源の自動シャットダウン、およびインプランターの過熱を防ぐための安全マシンが含まれます。全体として、AXCELIS NV-GSD-200は、精密イオン注入とモニタリングのための強力で信頼性の高いツールです。4つのDCイオンガン、強力なインサイトモニター、洗練された自動メンテナンスシステムにより、NV-GSD-200は高精度のプロセスを可能にし、プロセスの変動性を低減し、一貫して高品質の製品を保証します。