中古 EATON NOVA / AXCELIS NV 8250HT #9366390 を販売中
URL がコピーされました!
タップしてズーム
ID: 9366390
ヴィンテージ: 2000
Implanter
Vacuum system:
CTI-CRYOGENIC 9600 Cryo compressor
OB 8 Beam line cryo pump
(2) OB 8 Process cryo pumps
STP1003C Source pump
STP301C Beam line turbo pump
STP1003C Beam line turbo pump
Vacuum controller: HCIG
End-station:
Cassette capability: 2-Cassette
Wafer size: 8"
Wafer notch alignment: Automatic notch alignment capability
Wafer handling system: In-air / In-vacuum high throughput
Particle filter system: Class 1, UPLA Filtered wafer handling system
Implant angle capability:
Quad implant
Real-time beam profiler (Single dimension)
Tilt axis: 45°
Twist axis: 360°
Beam monitoring system: Real-time patented dose control
Chuck: Electro-static clamp
Chuck cooling interlock
ASYST LPT 2200 SMIF Interface
Chiller
E-Clamp
E-Shower controller and power supply unit
Flag faraday relay box
Beam profiler card include external box
DSP Motor controller
CP1 Pump
Dosimetry frame include side cup and P-Cup
Cell controller
Aligner assembly
CPU
Tx Arm include pneumatic assy
Oscilloscope
FFU
Terminal:
Four string gas box:
Gas box option: Modular gas box
High pressure string
(2) SDS String hydride: Arsine and phosphine
SDS String fluoride: Boron trifluoride
(3) Pressure transducer on SDS string (Per string): PSIA
Mass flow controller:
UNIT 1660
(3) UNIT 1662
Extraction voltage monitor: 0-40 keV
Vaporiser
Ion source: ETERNA Extended Life Source (ELS)
Source bushing: Extended life bushing
Extraction electrode: (3) Axis extraction electrode
AMU System: Triple indexed mass analysis magnet and power supply
Beam shutter
Beam line quads beam focus and scanner
P-Lens power supply: 0-68 keV
Decel power supply: 0-40 keV
Accel power supply: 0-142 keV
Terminal transformer: Oil-cooled transformer
Angular energy filter
Energy slit
Beam profiler with P-cup
Flag faraday with side cups
Cathode power supply unit
Filament power supply unit
Arc power supply unit
Source controller
(3) Turbo pump include controller / Harness
Ext electrode assy
Source and cooling flange
Source magnet power supply unit
High resolution scanner scan generator DI
AMU Power supply unit
Terminal PD DI
Beam Shutter DI: Dose DI
Terminal beam line DI: General IO DI
Gas box DI
Ground interface DI: Terminal DI
Disk thermocouple DI: TC Di
(4) IG Controllers and cables
HV Supply power supply unit
Extraction power supply unit
Quad power supply unit
Right scan amplifier
Digital tesla meter
Scan suppression power supply unit
Accel power supply unit
Decel power supply unit
AEF power supply unit
Charge control technology: E-Shower
NESLAB / AFFINITY Chiller
Control UPS
Main isolation transformer
Smoke detector
Exhaust flow switch
Water leakage sensor
Light tower
SECS I and SECS II Protocols
GEM Interface
Ethernet ports
IG and TC Gauge
2000 vintage.
EATON NOVA/AXCELIS NV 8250HTは、半導体製造プロセスで使用されるイオンインプラントです。このツールは、高エネルギー、高スループット、中径イオン注入器です。電気部品または電子部品の製造のための材料基板に様々な種類のイオンを埋め込むために使用されます。AXCELIS NV 8250HTには、30 keVの高性能GaAs強化スクリーンが搭載されており、集中インプラントのプロファイル、基板スループットの向上、プロセスの信頼性の向上を実現します。統合された高解像度光学センサを使用して、イオンビームを監視し、正確なインプラント監視を提供します。EATON NOVA NV 8250 HTは、精密なビーム操作とイオンビーム制御を可能にする高度なIntelliActivityTMチャンバー制御装置を備えています。この精密なイオンビーム制御により、ホウ素とリンの両方を含む幅広いイオン種の移植と制御が可能になります。さらに、NV 8250HTには7つの交換可能なターゲット位置があり、さまざまな材料の正確な埋め込み方法があります。チャンバーはまた、イオン注入の均一性を高めるために使用することができます。EATON NOVA NV 8250HTは、6段階のDC磁気ビーム搬送システムと50kV前加速段階を利用しています。高電圧、低電流ビームスコアリングユニットを内蔵しており、イオンビームを正確に制御できます。EATON NOVA/AXCELIS NV 8250 HTは、さまざまな基板およびインプラント条件に対応するためにイオン電流レベルを調整するアダプティブフィードバックループを備えた高度なクローズドループイオン電流モニタリングマシンを備えています。AXCELIS NV 8250 HTは、ホウ素、リン、ヒ素、およびケイ化物を含む様々なインプラント材料で動作するように設計されています。それは単一の線量およびバッチ/連続的な線量の注入の適用の両方に使用することができます。イオンインプランターにはFluenceMapTM Graphical User Interface （GUI）が装備されており、インプラントのプロセスに対するリアルタイムのフィードバックを提供し、インプラント条件のリアルタイム監視を可能にします。さらに、NV 8250 HTはメンテナンスと効率的な運用のために設計されており、ダウンタイムとメンテナンスコストを削減します。EATON NOVA/AXCELIS NV 8250HTは、さまざまな大量および高精度のインプラント用途に使用できる信頼性と汎用性の高いイオンインプランターです。これは、スループットの向上、均一性の向上、信頼性の向上により、ユーザーに正確で効率的な埋め込みプロセスを提供するように設計されています。
まだレビューはありません