中古 EATON NOVA / AXCELIS NV 8250 #9361634 を販売中
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EatonEATON NOVA/AXCELIS NV 8250は、太陽光発電、オプトエレクトロニクス、ディスプレイ、化合物半導体、およびその他の高電圧用途に設計されたイオンインプラントおよびモニターです。AXCELIS NV 8250は、優れたイオン源の制御とプロセス監視機能を提供する高品位で高精度なインプラントおよび監視装置です。このシステムの主な特徴は、強力で統合された500kWイオン源、固定電子ビームイオン源、高電流イオン源、低電流イオン源、画期的な陰極アークイオン源、広範囲のi/oおよび制御機能です。EATON NOVA NV 8250は、インプラントおよびモニタリングにおける予測可能性、再現性、信頼性を高効率イオン源と組み合わせています。このユニットは、大きなビーム電流と幅広いビームエネルギーを備えており、さまざまなインプラントおよびモニタリングのニーズに対応できます。標準インプラントと高電流インプラントの両方、および高精度インプラントのための非常に低電流イオンをサポートしています。この機械は可変幾何学イオンソースを利用して、埋め込みのパラメータを比類のない制御を提供します。これには、ビーム電流、ビームエネルギー、および動的温度制御が含まれます。高度なソース制御により、このツールは非常に高いレベルの一貫性を維持することができます。これは、植え込みプロセスの品質に大きな影響を与えます。NV 8250はまた、注入パラメータを正確に制御できる包括的な監視および制御資産を誇っています。これには、テンプレートベースの制御、フォーマットプログラム、プロセスパラメータをカスタマイズする機能など、i/oおよび制御機能の全範囲が含まれます。また、直感的なグラフィカルインターフェイスを備えたエルゴノミックコンソールを備えているため、操作が非常に簡単です。EATON NOVA/AXCELIS NV 8250の統合された診断および安全機能は、最大の安全保証とプロセスの信頼性を提供します。これには、異常ショットの自動検出と、機器の誤動作から保護する安全インターロックが含まれます。また、トレーサビリティや品質保証をサポートする各種データ収集機能を搭載しています。最後に、AXCELIS NV 8250は、カスタマーサービスとサポートの卓越性へのコミットメントに裏打ちされています。
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