中古 EATON NOVA / AXCELIS NV 8250 #293595676 を販売中
URL がコピーされました!
ID: 293595676
ヴィンテージ: 2000
Implanter
Vacuum system:
CTI-CRYOGENIC 9600 Cryo compressor
OB 8 Beam line cryo pump
(2) OB 8 Process cryo pumps
STP1003C Source pump
STP301C Beam line turbo pump
STP1003C Beam line turbo pump
Vacuum controller: HCIG
End-station:
(2) Cassettes capability
Wafer size: 8"
Wafer notch alignment: Automatic notch alignment capability
Wafer handling system: In-air / In-vacuum high throughput
Particle filter system: Class 1, UPLA Filtered wafer handling system
Implant angle capability:
Quad implant
Real-time beam profiler (Single dimension)
Tilt axis: 45°
Twist axis: 360°
Beam monitoring system: Real-time patented dose control
Chuck: Electro-static clamp
Chuck cooling interlock
ASYST LPT 2200 SMIF Interface
Chiller
E-Clamp
E-Shower controller and power supply unit
Flag faraday relay box
Beam profiler card include external box
DSP Motor controller
CP1 Pump
Dosimetry frame include side cup and P-Cup
Cell controller
Aligner assembly
CPU
Tx Arm include pneumatic assy
Oscilloscope
FFU
Terminal:
Four string gas box:
Gas box option: Modular gas box
High pressure string
(2) SDS String hydride: Arsine and phosphine
SDS String fluoride: Boron trifluoride
(3) Pressure transducer on SDS string (Per string): PSIA
Mass flow controller:
UNIT 1660
(3) UNIT 1662
Extraction voltage monitor: 0-40 keV
Vaporiser:
Ion source: ETERNA Extended Life Source (ELS)
Source bushing: Extended life bushing
Extraction electrode: (3) Axis extraction electrode
AMU System: Triple indexed mass analysis magnet and power supply
Beam shutter
Beam line quads beam focus and scanner
P-Lens power supply: 0-68 keV
Decel power supply: 0-40 keV
Accel power supply: 0-142 keV
Terminal transformer: Oil-cooled transformer
Angular energy filter
Energy slit
Beam profiler with P-cup
Flag faraday with side cups
Cathode power supply unit
Filament power supply unit
Arc power supply unit
Source controller
(3) Turbo pump include controller / Harness
Ext electrode assy
Source and cooling flange
Source magnet power supply unit
High resolution scanner scan generator DI
AMU Power supply unit
Terminal PD DI
Beam Shutter DI: Dose DI
Terminal beam line DI: General IO DI
Gas box DI
Ground interface DI: Terminal DI
Disk thermocouple DI: TC Di
(4) IG Controllers and cables
HV Supply power supply unit
Extraction power supply unit
Quad power supply unit
Right scan amplifier
Digital tesla meter
Scan suppression power supply unit
Accel power supply unit
Decel power supply unit
AEF power supply unit
Charge control technology: E-Shower
NESLAB / AFFINITY Chiller
Control UPS:
Main isolation transformer
Smoke detector
Exhaust flow switch
Water leakage sensor
Light tower
SECS I and SECS II Protocols
GEM Interface
Ethernet ports
IG and TC Gauge
2000 vintage.
EATON NOVA/AXCELIS NV 8250は、高精度で高品質のイオン注入プロセスを容易にするように設計された強力なイオン注入器およびモニターです。優れた精度、再現性、堅牢性を提供する洗練されたデザインを備えています。イオン注入器は、2組の同心円柱で設計されています。外側のカラムはソース・チャンバと呼ばれ、内側のカラム・セットはターゲット・チャンバと呼ばれています。ソースチャンバーはイオン源を収容し、ターゲットチャンバーは移植する標本を収容します。さらに、このシステムはコンピュータ制御ビームラインも備えており、イオン注入プロセスを正確に制御することができます。効率的で信頼性の高いイオンインプランターは、精度と生産性を向上させる幅広い機能を備えています。このユニットは、ソースチャンバーとターゲットチャンバーのパラメータ、エミッタンス、ビームスキャンなど、イオン注入プロセスにおけるすべての重要な操作を自動化することができます。さらに、機械には高度なエラー検出メカニズムがあり、着床プロセスでエラーが発生する前に問題を検出することができます。AXCELIS NV 8250はまた、エネルギー安定性とビームパラメータ精度の点でツールの安定性を確保する高度な診断方法を備えています。このアセットは、高精度、再現性、堅牢性を備えたインプラントの製造に特に役立ちます。また、ユーザーフレンドリーなインターフェースを備えており、ユーザーはイオン注入プロセスを簡単に監視および制御できます。最後に、EATON NOVA NV 8250は長期的で信頼性の高い操作用に設計されており、インプラント品質の向上、スループットの向上、サイクルタイムの短縮など、さまざまな利点を提供します。これにより、アプリケーションに高品質のイオンインプラントとモニターを必要とするユーザーに最適です。
まだレビューはありません