中古 EATON NOVA / AXCELIS NV 8250 #163113 を販売中

EATON NOVA/AXCELIS NV 8250は、さまざまな半導体デバイスの高精度インプラントに最適なイオンインプラントおよびモニターです。イオンインプランターは、シリコンやヒ素ガリウムなどの半導体材料の特性を変更するために特別に設計された粒子加速器の一種です。イオンソース、インプランターセクション、モニターセクションの3つの主要コンポーネントで構成されています。AXCELIS NV 8250のイオン源は、基板に向かって高エネルギーイオンを生成および加速するように設計されています。静電気加速器に基づいており、イオンエネルギー、線量率、および基板カバレッジに対する優れた制御を提供します。インプランターセクションは、必要な量のイオンを基板に供給する責任があります。イオンビームプラットフォーム、ビームライン、基板ホルダーが含まれており、着床プロセスに応じてすべて可動します。モニターセクションは、イオンインプラントからデータを監視および収集し、精度と信頼性を確保するために機械の計装およびコンピュータシステムと統合されています。EATON NOVA NV 8250は、高い精度と均一性で、大規模で複雑な基板を処理することができます。高解像度のイメージング機能を搭載しており、着床プロセスの正確な視覚フィードバックを可能にします。また、高精度のナノメートルレベルの精度を備えており、注入プロセスが最高水準の精度を満たしていることを保証します。さらに、NV 8250は、長耐久電源で機械を構成するオプションを備え、連続動作するように設計されています。EATON NOVA/AXCELIS NV 8250は、業界標準のさまざまなツールおよびソフトウェアパッケージとも互換性があり、既存のツールチェーンとのシームレスな統合が可能です。さらに、直感的なユーザーインターフェイスにより、ユーザビリティがシンプルかつ高速になり、ユーザーは独自のデバイスやジオメトリに独自のインプラントのレシピをカスタマイズすることができます。装置にまた装置および労働者の安全の両方を保護するように設計されている独特な安全パッケージがあります。全体として、AXCELIS NV 8250は、要求の厳しい高精度インプラント処理に最適なソリューションです。洗練された部品と高度な機能の組み合わせは、優れた着床性能と最高レベルの精度を保証するように設計されています。それは信頼でき、適用範囲が広く、いろいろな適用の最も要求のある植え付けプロセスを満たすように設計されている多目的な機械です。