中古 EATON NOVA / AXCELIS NV 8200P #293587241 を販売中

EATON NOVA/AXCELIS NV 8200Pは、半導体製造事業で使用される高度なイオンインプラントおよびモニターです。高精度のDC埋め込み装置と複数の統合センサーとモニターを備えており、正確で再現性の高いイオン埋め込みを可能にします。インプラントのパラメータとプロセスルールを設定する能力の広い範囲で、システムは、費用対効果の高い方法で優れた結果を提供するように設計されています。0〜90kVの加速電圧範囲と最大350mAの電流を持つ高度なマルチデューティ源を備えているため、ホウ素、リン、ヒ素などの軽いイオンと、ガリウム、チタン、インジウムなどの重いイオンの両方を埋め込むことができます。正確な結果を得るために、インプラント分布および線量率の時間依存プロファイルを測定するための広範なスキャンチャネル、およびプロセス安定化のための温度センシングプローブを含む一連のin-situモニタとセンサーが装備されています。AXCELIS NV-8200Pには、自動化および制御機能の完全な範囲が含まれており、プロセスパラメータの微調整と最適化を可能にします。例えば、プロセスの限界を設定し、監視し、ビーム剛性とエネルギーを調整し、ビームのぐらつきと非線形性を補償することができます。また、臨界線量率を素早く測定し、バイアスエラーを検出して修正することもできます。また、コントロールマシンは直感的なワンタッチユーザーインターフェイスを備えており、現在のプロセス条件やエネルギーレベル、ツールステータス、実行するレシピなど、さまざまな情報を提供します。さらに、この資産には、サイクルタイムを短縮し、製品歩留まりを改善するための完全なプロセス最適化ツールと、トラブルシューティングのための一連のメンテナンスおよび診断ツールが含まれています。全体として、EATON NOVA NV 8200 Pは、高度で汎用性の高いイオンインプラントおよびモニターで、正確で再現性のある結果を提供しながら、堅牢なプロセス制御を提供するように設計されています。直感的なユーザーインターフェイスと完全なオートメーションと制御機能を備えており、半導体製造アプリケーションに最適です。