中古 EATON NOVA / AXCELIS NV 8200 #293660457 を販売中

EATON NOVA / AXCELIS NV 8200
ID: 293660457
Ion implanters.
EATON EATON NOVA/AXCELIS NV 8200は、高度な半導体装置サプライヤーEATONAXCELISのイオンインプラントおよびモニターです。高品質な性能と低ダウンタイムを両立し、半導体製造に最適です。イオンを1keVから70keVまでのエネルギーで、スピードと精度の高い半導体ウェーハに埋め込むことができます。AXCELIS NV 8200は、2〜200ミリメートルのウェーハサイズと1〜30ミクロンの複数のインプラント径に対応できる汎用性の高いシステムです。統合された3チャンバーユニットにより、ウェーハの効率的なロードとアンロードが可能になり、独自の診断セットにより数百ミクロンの解像度が保証されます。また、効率的なウェーハクリーニングのためのビームクレンザーと、簡単な操作のためのインターフェイスを備えています。EATON NOVA NV 8200には、ユニークな監視機能が付属しています。これには、インプラント工程の正確性を確保するための全機械の線量および高エネルギー線量測定が含まれます。また、イオン爆撃による潜在的な損傷からウェーハを確実に保護するためのモニターも備えています。さらに、NV 8200には、ダウンタイムを最小限に抑えるために、ツールの問題を予測して検出できる一連の障害診断機能があります。EATON NOVA/AXCELIS NV 8200は、堅牢な設計と構造により、長期的な運用を提供します。基盤は頑丈なステンレス鋼からなされ、安全な操作を保障するために付加的な保護と補強されます。また、長時間の運転中に効果的に熱を放散するための水冷アセットも備えています。全体として、EATON AXCELIS NV 8200は、半導体生産に適した信頼性と高度なイオンインプラントおよびモニターです。使いやすさ、低ダウンタイム、高品質のパフォーマンスにより、市場で最も信頼性の高いシステムの1つになっています。半導体業界にとって、EATON NOVA NV 8200は理想的な選択肢であり、生産ラインの主要なツールになることは間違いありません。
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