中古 EATON NOVA / AXCELIS NV 6200A #9275794 を販売中

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ID: 9275794
ヴィンテージ: 1990
Medium current implanter Missing and broken parts CTI CRYOGENICS 8500 Compressor Cryo-Torr 8 Cryo pump Dry pumps: EDWARDS QDP80 EDWARDS QDP40 + QMB250 Power supply: 200-208 V, 50/60 Hz, 6.6 kV, 3 Phase Process gas: BF3, PH3, AsH3 Power supply: 208 V, 70 A, 3 Phase 1990 vintage.
EATON NOVA/AXCELIS NV 6200Aは、イートン株式会社が開発し、その信頼性の高い性能、高スループット、および正確な制御のために業界の専門家によって信頼されている高度なイオンインプラントおよびモニター装置です。AXCELIS NV 6200Aデバイスは、RF可能なソースからなるソースと、イオンの正確な配信を可能にするコンポーネントで構成されています。これにより、安定した用量、電流、エネルギーで容易に実現可能な高電流密度を実現します。さらに、統合スキャン技術、ダイオードレーザー技術、パルスレーザービーム(PLB)により、EATON NOVA NV-6200Aはスポットサイズや形状などのビーム特性を正確に制御できます。さらに、NV-6200Aは特許取得済みのDBC (Digital Beam Control)システムを備えており、調整可能なビーム電流を提供し、オペレータはエンドアプリケーション要件を微調整できます。高度なソフトウェアパッケージと組み合わせることで、イオンビーム収差を最小限に抑えながら、最大イオン使用率を促進します。EATON NOVA NV 6200Aは、特別なスキルを必要とせずに優れた再現性で、非常に一貫した、非常に正確な結果を達成します。イオンで銃を充電した後、ユニットは、ウェーハ処理とインプラントのパターンの完全自動化のために設計されています。これは、ハイエンドの埋め込みニーズを持つメーカーにとって費用対効果の高いデバイスとして特徴付けられます。さらに、AXCELIS NV-6200Aはユーザーフレンドリーで、低公害ポンプや温度制御など、さまざまなチャンバー機能と環境制御を提供します。この機械は、Si、 GaAs、 InAs、さらには生物材料など、幅広い材料の埋め込みに適しています。NV 6200Aは、競争力のある価格で理想的なパフォーマンスを提供する印象的なイオンインプランターおよびモニタツールです。調整可能なビーム電流と洗練されたスキャン技術により、ユーザーはインプラントのパターンを完全に制御できます。さらに、この資産は信頼性が高く、自動化され、ユーザーフレンドリーであり、優れた再現性を提供し、業界の専門家の信頼できる選択肢となっています。
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