中古 EATON NOVA / AXCELIS NV 6200A #9272603 を販売中

EATON NOVA/AXCELIS NV 6200Aは、高精度イオン注入用に設計された高度なイオン注入装置およびモニター装置です。付属のイオン源は幅広い用量とエネルギーを生成することができ、シリコン基板やその他の材料の正確なドーピングに最適です。システムのソフトウェアとハードウェアは、イオン注入プロセスを正確に制御し、高精度と再現性の両方を可能にします。このユニットには、ユーザーが簡単にプロセスをセットアップして監視できるユーザーフレンドリーなインターフェイスなど、さまざまな機能が搭載されています。また、ビーム形状、ビームサイズ、用量などのインプラントのパラメータを調整することもできます。さらに、ビーム電流モニタ、蓄積線量モニタ、プロセスステータスモニタなどのプロセス監視機能も搭載しています。AXCELIS NV 6200Aは、制御された埋め込みに最適で、優れた光学アクセスを提供する低真空蒸着チャンバを備えています。この機械は、酸化物コーティング、有機金属コーティング、フォトレジストコーティングなど、さまざまなシリコンプリコーティングオプションで構成することもできます。これにより、イオン注入に様々なシリコン基板を使用することができます。要求の厳しいプロセスを持つユーザーのために、ツールはまた、完全に自動化されたパルスインプラントや複数のインプラントの組み合わせなど、高度な機能の範囲を含みます。これらの機能により、ユーザーはプロセスをより正確に制御できます。アセットが常に最適な効率で実行されていることを確認するために、汚染を最小限に抑え、プロセスのパフォーマンスを向上させるための多くの追加機能が含まれています。これらの機能には、クリーンルーム互換の製造、自動化されたウェーハ処理モデル、およびチャンバーの雰囲気を監視するための一貫したセンサーが含まれます。センサーは、プロセスの変化を継続的に監視し、ユーザーに警告し、機器ができるだけ効率的に動作するようにします。EATON NOVA NV-6200Aは、強力で正確なイオンインプラントおよびモニターシステムで、ユーザーに必要な精度と制御を提供します。このユニットの精度と信頼性は、さまざまなインプラント用途で高品質で再現性のある結果を生み出すのに理想的です。さらに、簡単なセットアップ、監視、正確な操作を保証する高度な機能とセンサーが含まれています。