中古 EATON NOVA / AXCELIS NV 6200A #9270103 を販売中

EATON NOVA/AXCELIS NV 6200Aは、ビーム性能の信頼性と再現性の高い埋め込みプロセスと定期的な監視を提供するように設計された高性能イオンインプラントおよびモニターです。このマシンは、堅牢でスケーラブルなアーキテクチャと、ビーム電流の配信を最適化する革新的なソフトウェアとハードウェアを組み合わせており、より高いレベルの精度、効率、信頼性を提供します。AXCELIS NV 6200Aは、最も小さいものから最大のものまで、幅広い機能を埋め込むことができます。これは、ユーザーが設定することができるインプラントの電流、線量、および角度などの様々な動作パラメータを30kVする40kVの動作電圧を持っています。0。5％の精度で最大1,200アンペアのビーム電流を供給でき、デューティサイクル能力は99％を超えます。EATON NOVA NV-6200Aは、移植されたイオンを正確かつ再現可能に制御できるデジタルイオンビームコントローラを備えています。これは、ユーザーがビームの焦点を調整し、リアルタイムで埋め込まれたオブジェクトを監視することができます統合されたイメージング機器を持っています。モニターには高度なソフトウェアスイートがあり、ユーザーはビームのパフォーマンスをリアルタイムで監視し、より整理された一貫性のある方法でデータを記録することができます。このマシンには、ビーム電流を監視し、ユーザー定義のパラメータに基づいて自動的に調整する自動エンドポイント制御システムも付属しています。また、エンドポイント制御ユニットは、ビーム電流とビーム形状をインテリジェントに最適化し、事前に定義されたエンドポイント目標を達成します。NV-6200Aはまた、ロードロックチャンバー内のガスの温度を落ち着かせ、維持する統合温度制御機を備えています。これは、着床時のオブジェット歪みを最小限に抑え、安定した着床プロセスを確保するのに役立ちます。EATON NOVA/AXCELIS NV-6200Aには、スペアパーツの完全な在庫と、ユーザーがツールの寿命を最大限に活用できる幅広いサービスオプションが付属しています。これは、予防メンテナンスサービスから、ほこりや破片の蓄積を防ぐためのオーブンのリライニングまでの範囲です。最後に、EATON NOVA NV 6200Aは最大限の安全のために設計されています。ステンレス製のハウジングに囲まれ、潜在的な事故を防ぐ高度な安全資産を備えています。また、ビームが動いているときにオペレータに警告するモーションセンサーと、不正アクセスを防ぐためのレーザー支援安全ロックアウトも備えています。