中古 EATON NOVA / AXCELIS NV 6200 #293759187 を販売中

EATON NOVA/AXCELIS NV 6200は、半導体製造およびパッケージングアプリケーション向けに設計されたイオンインプラントおよびモニタです。最新の半導体デバイスの複雑な構造を作成するために、精密で高速な埋め込みを行うことができます。AXCELIS NV 6200は、高度なレベルアシストテクノロジー、ユーザーフレンドリーなWindows XPベースのシーケンスウィザード、直感的なタッチスクリーンモニタリングにより、迅速なパラメーター設定と変更を実現します。このユニットは、優れたプロセス制御を保証する機能を備えたパワーパックです。高解像度の高帯域幅アンペア/任意波形モニタリングシステムを搭載し、フィードフォワード/フィードバックループ機能を備えており、アンダーインプラントおよびオーバーインプラントのリスクを最小限に抑えます。さらに、Quick Adjust Envelopeにより、オペレータはエンベロープ形状をすばやく調整してウェーハスループットを向上させることができます。EATON NOVA NV 6200には、結晶の完全性を識別するチルト保証システム（TAS）や自動ウェーハ試験システム（OTAT）など、ウェーハのスムーズな読み込みと最大生産性を確保するための自動ツールも装備されています。また、ソフトウェア構成のミッションコントロールレンダラーによってサポートされる包括的な障害検出およびレポート機能も提供します。最後に、NV 6200の高度なプロセス制御およびモニタリングオプションにより、イオンビームの不一致、汚染、形状の歪み、さらには温度の変動を正確に監視できます。ユーザーはビームプロファイル、目標電流、銃の温度、ピーク電圧、ソース強度、ガス圧力、加速電圧レベルなどを監視できます。全体として、EATON NOVA/AXCELIS NV 6200は、ドーピング、軽くドープされたドレンインプラント、ソース/ドレンインプラント、ゲートドーピング、エンハンサーインプラント、および優れた精度と精度を必要とするその他のプロセスに理想的な機能と機能を備えています。歩留まりの向上とコスト効率の向上に最適なソリューションです。