中古 EATON NOVA / AXCELIS NV 1060 #9013660 を販売中

EATON NOVA/AXCELIS NV 1060は、半導体製造プロセスにおけるイオンの蒸着を正確に制御するために使用されるイオン注入器およびモニターです。AXCELIS NV 1060は革新的でありながらシンプルな設計で、他のタイプのインプラントよりもイオンの沈着を制御することができます。EATON NOVA NV 1060は、異なる位置に移動できるレールに取り付けられたタレットアセンブリで構成されています。砲塔には、2つのイオン源（低電流用と高電流用）と、イオン源の電圧と電力レベルの制御システムがあります。砲塔には磁気計も搭載されており、イオン源にフィードバックして正確さと一貫性を確保しています。NV 1060は無線周波数スパッタリング技術を使用して、基板にイオンを堆積させます。それは電圧および適用の特定の条件を満たすように調節される他の変数によっていろいろな線量を作り出すことができます。EATON NOVA/AXCELIS NV 1060は5 AMsまでの線量を提供できますが、他のいくつかのタイプのインプラントはわずか100 kVに達することができます。AXCELIS NV 1060は、ホストコンピュータに継続的にデータを送信して着床プロセスの進捗状況を追跡する自動監視システムを備えています。このデータは、イオン線量が一貫していることを確認するために分析することができます。さまざまな保護機能がEATON NOVA NV 1060に組み込まれており、過電圧やその他の高感度コンポーネントを損傷する可能性のある条件から保護します。NV 1060には、タッチスクリーンと直感的なユーザーインターフェイスがあり、ユーザーは各インプラント工程をすばやく変更および調整できます。インターフェースは、注入プロセスの進行状況を表示するグラフとチャートを表示し、ユーザーが注入プログラムのすべてのパラメータに簡単にアクセスできるようにすることができます。全体的に、EATON NOVA/AXCELIS NV 1060は、正確さ、制御、および使いやすさのために設計された強力で信頼性の高いイオンインプラントおよびモニターです。その汎用性と耐久性は、長い期間にわたって一貫した信頼性の高い精密な蒸着速度を必要とする半導体メーカーに人気のある選択肢となっています。